MEMpax®

MEMpax® は、他に類を見ない広範な特性を備えており、幅広い用途に適した製品です。 加工強度、高温接合への適合性、豊富なサイズ、板厚の薄さなど MEMpax® の卓説性は群を抜いています。

極めて低い板厚で高い耐久性を実現

優れた耐薬品性

ショットの画期的な TEMPAX Float® と同様、 MEMpax® は最高の化学的耐久性を提供し、処理、応用中の最も過酷な条件に耐えることができます。 MEMpax® はそのガラス組成により、高品質の電気絶縁体でもあります。

結合に適した構造

MEMpax®はシリコンウェーハと同等の熱膨張係数(CTE)を持つため、ガラスとシリコンウェーハの陽極接合において、非常に低い応力を実現することができます。 表面の粗さが非常に小さい(通常Ra≦0.5nm)ことも、このプロセスを容易にしています。

対応可能な波長

MEMpax®は、TEMPAX Float®と同様に、紫外域を含む可視域で高い透過率を示します。 このため、半導体プロセスの UV 剥離に非常に適しています。

形状、サイズ、厚さを最適化

ショットは、お客様と協力してお客様のニーズをできる限り満たすことに誇りを持っており、ガラスウェハも例外ではありません。 カスタム形状および標準的なラウンドタイプが用意されており、サイズ範囲は 2 ~ 12 インチ、厚さは 0.07 ~ 0.55 mm です。

材料特性

光学特性 

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの光学特性を示すグラフ

 

耐熱性

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの熱特性を示すグラフ

 

機械的特性

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの機械的特性を示すグラフ

 

透過率値

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの透過率値を示すグラフ

 

スペクトル透過率 (250 ~ 3150 nm)

MEMPax® ホウケイ酸ガラス (250 -3150 nm) のスペクトル透過率を示すグラフ

 

スペクトル透過率 (250 ~ 500 nm)

MEMPax® ホウケイ酸ガラス (250 -500 nm) のスペクトル透過率を示すグラフ

 

電気的特性  

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの電気的特性を示すグラフ

 

化学特性 

MEMPax® ホウケイ酸ガラスの化学特性を示すグラフ

 

MEMpax® 製品

ショット MEMpax® は以下の製品としてご利用いただけます :

  • 研磨されていない基板とウェハ
  • FLEXINITY®

詳細については、概要ページの関連製品をご覧ください。

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