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Two SCHOTT employees transport a large cylindrical quartz glass component

前工程向け消耗品

高純度石英は半導体製造における重要な材料であり、特に前工程の消耗品全般に使用されています。SCHOTTは、標準純度から超高純度、ニアネット形状まで、先進的なプロセスの要件に合わせてカスタマイズされた石英母材を提供しています。
Quarzglas Rohr

プラズマエッチング装置

プラズマエッチング技術は、高エネルギープラズマイオンを使用して材料をエッチングし、薄膜材料の正確な除去とパターニングを可能にします。石英リングは、エッチングプロセス中にエッチングチャンバーを分離、保護、安定化させ、チャンバーとウェーハのエッチングガス汚染を防ぎ、エッチングプロセスの安定性と均一性を確保します。SCHOTTの水晶振動子材料は、プラズマエッチング装置で広く使用されており、チャンバー部品の重要な材料として機能しています。

Quartz Glass for Epitaxy

エピタキシー装置

エピタキシーとは、チップ製造プロセスで使用される、元のウェーハ上に新しい結晶を成長させ、新しい半導体層を作成する技術を指します。不透明な石英ガラスは、エピタキシーチャンバーの部品に最適です。熱透過率と導電率が低いため、SCHOTTの不透明な石英ガラスは主要なエピタキシー装置に使用されています。

Quarzglas Opak

拡散装置

拡散とは、熱拡散の原理を利用して、高温条件下でのプロセス要件に従ってシリコン基板に不純物元素を導入するプロセスを指します。シリコン材料の電気的特性を変化させる特定の濃度分布があります。SCHOTTの電気溶融石英材料は、OH含有量が非常に低く、アルカリ金属が少ないため、拡散プロセスに最適です。

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Man in glasses in business office on phone while working on laptop_330x190.jpg

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