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Two scientists working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

マイクロ電気機械システム(MEMS)は、ヘルスケア、自動車技術、家電などの分野におけるイノベーションを支える小さな原動力です。繊細な顕微鏡部品は、要求の厳しい環境でも確実に性能を発揮するために、正確なパッケージングと耐久性のある保護を必要とします。SCHOTTでは、MEMS技術を保護するために設計された高度なソリューションを提供しています。
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MEMS実装

MEMS部品が小型化され強力化されるにつれ、同様に微小な実装ソリューションの必要性が高まっています。 ショットは、ショットPrimocelerによって提供される高精度TO PLUS®およびガラスマイクロボンディングなど、さまざまなガラス材料、気密実装部品、技術を提供しています。 これらの信頼性の高い実装オプションは長期的な気密性を維持し、熱損傷や機械的露出からMEMSを保護します。

製品
Scientist holding a circular mirror looking at their reflection

MEMSミラー

MEMS技術を採用した電磁駆動ミラーは、通信およびインテリジェントセーフティ産業で広く使用されています。これらのミラーは非常にデリケートで、水分や埃の粒子から保護する必要がありますが、高性能の光学インターフェースが必要です。MEMpax®、D263®、BOROFLOAT®などの超薄型ガラスはミラー基板に最適であり、当社の気密ガラスウィンドウ、リッド、マイクロエレクトロニクスパッケージにより、MEMSミラーは厳しい環境でも最適な性能を発揮します。

製品
Microscopic pressure sensor for MEMS package

圧力センサー

SCHOTTは、MEMSセンサを環境から保護するための他に類を見ない製品ポートフォリオに加え、センサ自体向けの多様な機能コンポーネントも取り揃えています。MEMpax®およびBOROFLOAT®は、陽極接合に最適な、平坦で高い均質性を持つホウケイ酸ガラスであり、FLEXINITY®は、構造化ウェハおよびガラス基板の革新的なポートフォリオです。

製品
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