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A scientist working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

マイクロ電気機械システム(MEMS)は、ヘルスケア、自動車技術、家電などの分野におけるイノベーションを支える小さな原動力です。繊細な顕微鏡部品は、要求の厳しい環境でも確実に性能を発揮するために、正確なパッケージングと耐久性のある保護を必要とします。SCHOTTでは、MEMS技術を保護するために設計された高度なソリューションを提供しています。
High-volume arrangement of precision electronic feedthrough components in a manufacturing tray

MEMSパッケージング

MEMS部品の小型化と高性能化が進むにつれ、それに対応する微細なパッケージングソリューションの必要性も高まっています。SCHOTTは、高精度なTO PLUS®、気密ウィンドウ、レンズキャップ、マイクロエレクトロニクスハウジングなど、さまざまなガラス材料および気密パッケージ部品・技術を提供しています。これらの信頼性の高いパッケージングオプションは、長期にわたり気密性を保持し、熱損傷や機械的影響からMEMSを保護します。

Scientist holding a circular mirror looking at their reflection

MEMSミラー

MEMS技術を採用した電磁駆動ミラーは、通信およびインテリジェントセーフティ産業で広く使用されています。これらのミラーは非常にデリケートで、水分や埃の粒子から保護する必要がありますが、高性能の光学インターフェースが必要です。MEMpax®、D263®、BOROFLOAT®などの超薄型ガラスはミラー基板に最適であり、当社の気密ガラスウィンドウ、リッド、マイクロエレクトロニクスパッケージにより、MEMSミラーは厳しい環境でも最適な性能を発揮します。

Microscopic pressure sensor for MEMS package

圧力センサー

SCHOTTは、MEMSセンサを環境から保護するための他に類を見ない製品ポートフォリオに加え、センサ自体向けの多様な機能コンポーネントも取り揃えています。MEMpax®およびBOROFLOAT®は、陽極接合に最適な、平坦で高い均質性を持つホウケイ酸ガラスであり、FLEXINITY®は、構造化ウェハおよびガラス基板の革新的なポートフォリオです。

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