Illustration of light being focused on a component in lithography process

リソグラフィー

リソグラフィは、LCDマイクロチップやナノチップから高解像度ディスプレイのLED構造やOLED構造まで、幅広い電子部品の製造における重要なプロセスです。 ZERODUR ®のような製品は、極めて低い熱膨張率により高い精度を実現するため、リソグラフィに理想的です。
企業会議室でのプレゼンテーションを示すデジタル画面

ディスプレイリソグラフィ

フラットパネルディスプレイ(FPD)リソグラフィは、OLED画面、タブレット、PC、スマートフォンに搭載されている複雑なピクセルディスプレイを生産するのに役立ち、ショットはこれらのディスプレイの製造において重要な役割を果たしています。 例えば、ZERODUR®ガラスセラミックスは、温度変動による幾何学的形状や距離の変動を最小限に抑える必要があるハイテク用途で優れた精度を発揮するため、一般的な要素です。

複合青色回路基板

リソグラフィー

SCHOTT ZERODUR ®は膨張係数がほぼゼロであるため、マイクロチップまたはナノチップ上に集積回路を製造する際の重要なプロセスであるフォトリソグラフィ構造に理想的です。 ここではウェハの正確な配置が極めて重要であり、ZERODUR ®ガラスセラミックは何十年にもわたって業界で選ばれてきました。

Scientist in a laboratory looking at piece of equipment

光導体

リソグラフィ装置の重要な品質は、ショットの柔軟な光導体が理想的に適している部品の迅速、正確、再現可能な位置決めです。 弊社の導体は、お客様の要件に合わせた単一のカスタマイズされたファイバーバンドルからコンパクトなファイバーバンドルまで、あらゆる選択された箇所から光を誘導することができます。 また、弊社は業務に影響する可能性があるさまざまな機械的、環境的な課題からファイバーを保護するために異なる種類の被覆を専門的に扱っています。