MEMpax®

MEMpax®は、真の汎用性を備えた極薄で滑らかなホウケイ酸ガラスです。ショットの世界的に有名なTEMPAX Float®と同様の化学的および物理的特性を共有しながらも、さらに薄いファイヤーポリッシュ仕上げの表面は多くの新たな用途の可能性を切り開きます。

Tiny pressure sensor using a glass pedestal at wafer level

スリムな形状と優れた表面品質

SCHOTT MEMpax® は、世界的に有名な BOROFLOAT® ホウケイ酸ガラス板厚ポートフォリオを、 0.07 ～ 0.55mm という非常に低い板厚で拡張しました。美しいファイヤーポリッシュ仕上げの表面は、研削や研磨を必要とせず、MEMS やバイオテクノロジー用途など、極薄ホウケイ酸ガラスが必要なあらゆる場所で使用できます。

Hand holding an ultra-thin glass sheet with lab-on-a-chip system

卓越した汎用性

独自の厚みと卓越した特性を組み合わせることで、 MEMpax® の可能性が広がります。 CTE（熱膨張係数）がシリコンウエハに対応しているため、陽極接合などのウエハ用途に適しています。低自己蛍光特性、高紫外線透過特性、及び非導電特性から、その可能性はさらに広がります。

独自の資産のポートフォリオ

MEMpax®は、幅広い形状とサイズを比類のない低い厚さと組み合わせることができます。また、非常に高い耐薬品性が、加工時にこの高純度ガラスを非常に耐久性に優れたものにしています。そのCTEは結合プロセスにおいてシリコンとの高い互換性を持ち、その高い(UV)透過率により迅速な剥離が可能になり、高温であっても非導電性を維持します。