MEMpax®
MEMpax® ホウケイ酸ガラスの汎用性の高さは、そのダウンドリル製法から生まれており、美しく滑らかな表面が得られます。 低い平坦度と高い均質性に加え、卓越した材料特性を備えた MEMpax® は、電子機器やバイオテクノロジーのさまざまな用途に用いることができます。
圧力センサー
MEMpax® は、圧力センサーでの使用に最適です。 研磨されていない構造化ウエハーとして利用可能な MEMpax® は、機能的な MEMS ダイを運ぶ台座として機能します。 製品は、ショットが長年にわたり信頼を築いてきた自動車、産業・輸送、ヘルスケアの分野で広く使用されています。
MEMSミラー
MEMpax®は、そのユニークな熱的、光学的、化粧的、幾何学的特性により、さまざまなMEMSミラー用途の窓として広く使用されています。 シリコンとの熱的適合により、陽極接合による気密封止パッケージの可能性が広がり、低厚さの実現により、フォームファクタの小型化や光学用途の設計改善が可能になります。 さらに、透明な表面は、有効な反射防止コーティングと組み合わせることができます。
RF ICパッケージング
SCHOTT MEMpax® は市販されているすべての薄いガラスの中で最も低い誘電率を持つため、非常に高い (> 30 GHz) 周波数を必要とする用途に理想的です。 MEMpax® ガラスは粗さが低く TTV が低いため、無線周波数集積回路に最適です。
診断とバイオテクノロジー
診断とバイオテクノロジーの分野では最適な感度が不可欠であり、 ショットのMEMpax® は高い光透過率と低い自己蛍光により、さまざまなデバイスや機器での使用に理想的です。 バイオチップ基材、マイクロ流体、ラボ・オン・チップのいずれのシステムでも、 MEMpax® は低い信号対雑音比と優れた表面品質を提供します。
