Primoceler®のガラスとガラスの封止とは?

「ガラスマイクロボンディング」としても知られるSCHOTT Primoceler Oyのガラスとガラスの封止技術は、精密に積層されたガラスウエハを用いてキャビティ（空間）を形成し、繊細な電子機器を安全に封入する革新的な気密パッケージング技術です。電子デバイスは、室温での高度なガラス溶接技術を使用して端部をレーザー封止し、その後、ウエハを微細な個々のデバイスにダイシングされます。この高効率のウエハレベルプロセスは、非常に小型でありながら極めて堅牢なオールガラスパッケージの効率的な製造を可能にし、要求の厳しい用途においてイノベーションを推進します。

ガラスマイクロボンディングの利点

用途

SCHOTT Primoceler Oyのガラスとガラスの封止技術は、幅広い分野に新たな可能性をもたらします。用途例には、能動型医療用インプラント、航空宇宙、MEMS、マイクロオプティクスなどがあります。

技術

Primoceler®の革新的なガラスとガラスの封止技術は、非常に効率的なウエハレベル技術です。陽極接合、フュージョン接合、エポキシ封止などの従来の方法を凌駕し、優れた信頼性、デバイスの小型化、ウエハあたりの歩留まり向上を実現します。詳細な技術情報は以下をご覧ください。

SCHOTT Primoceler Oyのガラスとガラスのマイクロボンディング技術は、陽極接合、直接接合/フュージョン接合、ガラスフリット、エポキシ(UVまたは熱)封止などの既存の封止方法に比べて、優れた性能が実証されている代替技術です。

結合原理

SCHOTT Primocelerのガラスとガラスの封止は、添加剤を一切使用せずに室温でレーザーを用いて行われます。

ウエハレベルプロセス

SCHOTT Primocelerの高度なガラスウエハパッケージング技術は、非常に効率が高く、高い再現性を実現し、従来の方式よりもデバイスの小型化とウエハあたりの生産数の向上を可能にします。

ワイヤレスデバイスの機能と気密フィードスルー

オールガラスパッケージは、ワイヤレスデバイスや気密端子を備えたデバイスの製造を可能にします。ベースウエハ(1)の上には、スペーサーガラス(2a)またはエッジ付きリッド(2b)を配置し、キャビティを形成します。これにより、雰囲気が制御された気密パッケージが完成します(3)。

関連製品

SCHOTT Primoceler Oyについて

SCHOTT AGの子会社であるSCHOTT Primoceler Oyは、2010年に設立され、フィンランドのタンペレに拠点を置いています。2018年にショットグループに加わって以来、Primocelerは革新的な気密封止技術によりエレクトロニックパッケージング事業部門を大きく推進し、ショットが世界で注目される気密パッケージングソリューション のサプライヤーの1社としての地位を確固たるものにしています。