Glass Panels
高度な半導体パッケージング用SCHOTT Glass Panels
| 特性* | 仕様 |
|---|---|
| CTE 範囲(20 ~ 300° C)** |
3.2 | 3.3 | 5.0 | 7.2 |
| フォーマット | 510 x 515 mm |
| パネル厚**(初期値) |
0.5 ~ 1.1 mm |
| 厚み公差範囲*** |
± 10 ~ 20 µm |
| TTV範囲 *** |
≤ 10 ~ 20 µm |
| ワープ範囲 *** |
≤ 100 ~ 200 µm |
| 傷 / 掘削 |
40/20 |
| 粒子(除去不可) |
≤ 100 ~ 200 µm |
| エッジ欠陥 |
≤ 100 ~ 200 µm |
| エッジ処理 |
円形または面取り形状、研磨 |
* ご要望に応じて個別仕様にも対応
** ご要望に応じて、その他の材質または厚みもご用意いたします。
*** ガラスの種類と厚みによる