アルカリフリーで CTE が低い
AF 32® eco の環境に優しい特性の 1 つは、そのアルカリを含まない組成であり、半導体システムに非常に適しています。 シリコンウエハと同様の CTE を持ち、半導体や MEMS デバイスの高品質のウェハ ― 薄板ガラスカバーまたはシリコンチップの基板として使用できます。
広い板厚範囲、厳密な幾何公差
AF 32® eco は、非常に薄い 30 µ m ～ 0.5 mm の幅広い板厚でご用意しています。 必要な厚さが何であれ、厚みのばらつき (TTV) 要素全体は、わずか ≤ 5 µ m ～ 15 µ m で厳しく制御されます。
卓越した透過性
AF 32® eco ガラスによって達成される光透過率は、可視範囲の中でも近赤外までのより高い波長でも一貫して強力です。 91.9% という卓越した光透過率レベルを実現していますが、 AR コーティング後の透過率は 97 ～ 99% に達します。
「ガラスには優れた誘電特性があります」
AF 32® eco の低誘電損失により、非常に高い周波数での用途が可能になります。 熱膨張 (CTE) はシリコンに適合し、シリコンウエハーとの共処理を可能にします。 これにより、例えば、挿入損失の少ない GHz 範囲の SAW および BAW フィルタを実現できます。
