HermeS®
MEMSデバイスの信頼性と性能は、MEMSパッケージ技術の長期的な堅牢性に依存しています。 堅牢な材料と小型設計オプションにより、HermeS®貫通電極付ガラス基板(TGV)は非常に用途が広く、医療、通信、産業、自動車の各分野において重要な役割を果たしています。
産業用および車載用MEMSセンサー
MEMSデバイスにとって、製造プロセスは非常に厳しい環境下にあります。 例えば、産業向けや自動車向けに用いられる圧力センサーには、厳しい製造環境(腐食性の強い薬品等)に耐え、高い効率で動作するために、TGVウエハ技術による防御が必要です。
RF用MEMS
通信システムは、SCHOTT HermeS®高気密・極細貫通電極付ガラス基板の小型設計と優れた気密性により、卓越したRF(高周波)特性を発揮します。
医療用MEMS
SCHOTT HermeS®高気密・極細貫通電極付ガラス基板(TGV)は、血圧センサーや神経刺激装置などの医療 MEMSデバイスのパッケージに最適で、堅牢な電子パッケージが体液からデバイスを保護します。
