Glass Carrier Wafer and Glass Carrier Panel

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先進的な半導体パッケージング用の高性能ガラスキャリア

先進的な半導体パッケージング用の高性能ガラスキャリア

SCHOTTは数十年にわたり、半導体、オプトエレクトロニクス、自動車、科学、バイオテクノロジーなどの先端産業に向けて、高品質なガラスキャリアウエハおよびパネルで高い評価を築いてきました。当社の専門家は、お客様固有のニーズに応えるカスタマイズされたソリューションの開発を支援します。

Close-up of mechanical components with translucent and ribbed elements under soft lighting.

ガラスキャリアウエハーとは何ですか?

ガラスキャリアウエハーは、ホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどの薄いガラス材料で作られた、精密に製造されたディスクです。これらの材料は、優れた熱膨張特性と透過率により選定されています。高度な技術を用いて製造されたウエハーは、厳格な品質基準を満たし、業界固有の要件に合わせて調整されています。

A scientist wearing protective glasses and gloves handling a thin sheet with a precision tool in a laboratory.

SCHOTTのガラスキャリアを選ぶ理由

当社のガラスキャリアは、シリコンウエハーやダイの一時的な接着・剥離基板として、半導体用途に不可欠です。UVからIRまで高い光透過率を持つSCHOTTガラスは、効率的なレーザー支援剥離と高度なパッケージングソリューションを可能にします。

半導体アーキテクチャがより複雑になるにつれ、超平坦で機械的および化学的に安定したキャリア材料に対する需要が高まり続けています。ガラスウエハーおよびパネルは、2.5Dおよび3D IC、ファンアウトウエハーレベルパッケージングおよびパネルレベルパッケージング(FOWLP/FOPLP)、ならびにウエハー薄化用途で広く使用されています。

ガラスキャリアの利点

めまぐるしく変化する半導体の世界において、ガラスキャリアの重要性はますます高まっています。これは、以下の主要な特性によるものです。

比類なき精度

極めて低い全板厚変動 (TTV) と最小限の反りにより、表面研磨を必要とせず、最大限のプロセス安定性を実現します。

卓越した光学特性

UVからIRにわたる優れた透過率により、高度なレーザー加工および光学アプリケーションが可能になります。

幅広いCTE範囲

幅広い材料の選択肢により、さまざまなデバイス基板との最適な熱膨張マッチングが実現します。

優れた耐薬品性

酸、アルカリ、加水分解劣化に対する高い耐性により、過酷なプロセスにおいても優れた耐久性を発揮します。

複数の製品形状

シリコン互換のノッチおよび面取り形状を持つウエハー、またはサイズ制限をほとんど受けないパネルとして提供可能です。

業界標準に準拠して製造

SEMI規格に準拠した形状とレーザーマーキング。ISO 5環境下でのFOSBおよびRTUボックスへの洗浄・梱包。

ガラスキャリアの特長

高品質な原板ガラス

溶融プロセスの高い再現性により、高品質で一貫性のある原料ガラスが保証されます。当社の厳格なプロセス管理により安定した材料特性が保証され、半導体製造プロセスのあらゆる段階において信頼性の高い基盤を提供します。

半導体プロセス向けに設計

当社のガラスキャリアは、ウエハーの薄化やファンアウトパッケージングプロセスにおける一時接合に最適です。最先端の加工能力により、キャリアウエハーおよびパネルの両方について、関連するすべてのフォーマットと寸法にわたり、多様な半導体要件に対応します。

汎用性の高い加工オプション

キャリアウエハーやパネルに関する多様な半導体要件を満たすため、最先端の加工技術をご提供しています。当社の幅広い材料および形状のポートフォリオにより、お客様固有の用途およびプロセス環境に最適なソリューションをお約束します。

プロセス対応設計

レーザーマーキングされ、クリーンルームで梱包されたトレーサブルなウエハーおよびパネルにより、ハイテク製造へのシームレスな統合が可能になります。各キャリアはISO 5環境下で検査・梱包されており、納品以降の完全なトレーサビリティとプロセスの即応性が確保されています。

業界標準に準拠して製造されたガラスキャリア

超音波およびメガソニック洗浄は、ISO 5のクリーンルーム条件下で行われます。検査および梱包は、ISO 5条件下でFOSBおよびRTUウエハーボックス内にて行われ、半導体環境における清浄度と取り扱いに関する最高水準の基準を満たしています。

技術的専門知識

当社の専門家が、お客様の用途に最適なキャリア材料を見つけるためのオーダーメイドのサポートを提供します。最初の材料選定からプロセス認定に至るまで、アプリケーションに関するノウハウと実践的な技術指導をもって、一貫してお客様に寄り添います。

ガラスキャリアの素材がお客様のニーズに合わせて幅広く選択できる

SCHOTT のガラスは、幅広い CTE 範囲を持ち、お客様のデバイス材料に対応できるよう、幅広い材料選択により、お客様のご要望にお応えしています。

SCHOTTガラスキャリアの幾何学的特性

項目	ウエハ⁽¹⁾	パネル⁽¹⁾
フォーマット	6インチ、8インチ、12インチ [150–300 mm]	最大 650 × 650 mm⁽²⁾
厚さ⁽³⁾	0.40〜2.75 mm	0.50〜2.75 mm
厚さ公差⁽⁴⁾	± 2.5 – 5.0 μm	± 15 – 20 μm
総厚さばらつき (TTV)⁽⁴⁾	≤ 0.5 – 2.0 μm	≤ 15 – 20 μm
反り(ワープ)⁽⁴⁾	12インチ:≤ 50 μm 8インチ:≤ 30 μm	≤ 100 – 200 μm
外観品質:スクラッチ/ディグ	40/20 – 20/10	40/20 – 20/10

⁽¹⁾ ご要望に応じて、より厳しい仕様にも対応いたします
⁽²⁾通常 600 × 600 mm
⁽³⁾ 標準値であり、ご要望に応じて他の厚さにも対応可能です
⁽⁴⁾ガラスの種類および厚さによる標準値

ガラスキャリアの接着と取り外し

高い紫外線透過率により、仮接着や剥離が可能

スペクトル透過率: 厚さ 1.1 mm λ = 250 nm ～ 400 nm

スペクトル透過率: 厚さ 1.1 mm、λ = 200 nm 500 nm

SCHOTT のガラスキャリアは、以下の形で納品できます。

フラット / ノッチ：SEMI 規格に準拠
レーザーマーキング：SEMI 規格、T7、 QR バーコード / 一意番号に準拠
洗浄：超音波 / メガソニック洗浄およびクリーンルーム ISO 6
包装：ISO 6 準拠のウエハーボックス（FOSB，RTU など）の検査と包装

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グラスキャリアのポートフォリオ

pdf 346.1 kB

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Man in glasses in business office on phone while working on laptop_605x350.jpg

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