Four clear circular samples of SCHOTT MEMpax® thin borosilicate glass on a black background

MEMpax®

MEMpax® ist ein extrem dünnes, glattes Borosilicatglas mit einer unglaublichen Vielseitigkeit. Obwohl es ähnliche chemische und physikalische Eigenschaften wie das weltbekannte BOROFLOAT® von SCHOTT aufweist, ergeben sich aufgrund der geringeren Dicke und der feuerpolierten Oberfläche viele neue Anwendungsmöglichkeiten.
Tiny pressure sensor using a glass pedestal at wafer level

Schlanke Ausführung und ansprechende Oberfläche

SCHOTT MEMpax® erweitert das weltweit bekannte Portfolio an BOROFLOAT® Borosilicatglas um die extrem geringen Dickenabmessungen von 0,07 bis 0,55 mm. Ein weiterer Vorteil ist die makellose feuerpolierte Oberfläche, die Schleifen und Polieren überflüssig macht, und das Produkt kann überall dort eingesetzt werden, wo extrem dünne Borosilicatgläser benötigt werden, wie z. B. in MEMS- und Biotechnologie-Anwendungen

Hand holding an ultra-thin glass sheet with lab-on-a-chip system

Außergewöhnlich vielseitig

Die Kombination aus einzigartigen Dicken und herausragenden Eigenschaften erweitert das Potenzial von MEMpax®. Sein Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) entspricht dem eines Siliziumwafers, wodurch sich das Material bestens für Wafer-Anwendungen in anodischen und anderen Bondprozessen eignet. Weitere positive Eigenschaften sind eine geringe Autofluoreszenz, eine hohe UV-Durchlässigkeit und die elektrisch Nichtleitfähigkeit.

Wir sind zertifiziert

Wir sind nach ISO 9001 und 14001 zertifiziert. Die Produktion von MEMpax® wird in allen Phasen kontinuierlich überwacht, und all unsere Gläser werden vor dem Versand strengen Qualitätskontrollen unterzogen. Es entspricht auch den EU-RoHS- und EU-REACH-Normen.

Diagram of the components of an infrared camera in a smartphone
News und Innovation Stories

DIE HANDY-ZUKUNFT... ist aus Glas

Als Innovationstreiber hebt SCHOTT spezielle Dünngläser auf die nächste Stufe und ermöglicht verschiedene Glaslösungen für 3-D-Bildgebungs- und Sensorkomponenten: Gestalten wir die Zukunft der Unterhaltungselektronik.

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