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Two SCHOTT employees transport a large cylindrical quartz glass component

Verbrauchsmaterialien für Front-End-Prozesse

Hochreines Quarzglas ist ein wichtiger Werkstoff in der Halbleiterfertigung, das insbesondere bei Verbrauchsmaterialien für Front-End-Prozesse zum Einsatz kommt. SCHOTT liefert Quarz-Basismaterialien in einer weiten Reinheits- Spanne von Standard  bis ultra-rein. Die SCHOTT Produkte sind endkonturnah und damit  maßgeschneidert auf die Anforderungen moderner Fertigungsprozesse.
Quarzglas Rohr

Plasmaätzanlage

Die Plasmaätztechnologie nutzt hochenergetische Plasmaionen zum Materialabtrag und ermöglicht so das präzise Entfernen sowie Strukturieren von Dünnschichtmaterialien. Quarzringe isolieren, schützen und stabilisieren die Ätzkammer während des Ätzprozesses, verhindern eine Verunreinigung der Kammer und des Wafers durch Ätzgas und gewährleisten die Stabilität und Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses. SCHOTT-Quarzmaterialien werden häufig in Plasmaätzanlagen eingesetzt und dienen als Schlüsselmaterialien für Kammerkomponenten.

Quartz Glass for Epitaxy

Epitaxieanlage

Epitaxie bezeichnet eine Technologie, die im Chip-Herstellungsprozess eingesetzt wird, um kristalline Halbleiterschichten auf dem Funktionswafer abzuscheiden. Opakes Quarzglas ist die ideale Wahl für Komponenten in Epitaxiekammern. Aufgrund seiner geringen Wärmedurchlässigkeit und Wärmeleitfähigkeit wird das undurchsichtige Quarzglas von SCHOTT in Epitaxieanlagen eingesetzt.

Quarzglas Opak

Diffusionsanlage

Diffusion bezeichnet einen Prozess, bei dem unter Ausnutzung des Prinzips der thermischen Diffusion Verunreinigungselemente entsprechend den Prozessanforderungen unter Hochtemperaturbedingungen in das Siliziumsubstrat eingebracht werden. Dabei entsteht eine spezifische Konzentrationsverteilung, um die elektrischen Eigenschaften des Siliziummaterials zu verändern. Die plasma- geschmolzenen Quarzmaterialien von SCHOTT eignen sich aufgrund ihres sehr geringen OH-Gehalts und ihres niedrigen Gehalts an Alkalimetallen ideal für Diffusionsprozesse.

Möchten Sie sich davon inspirieren lassen, wie Quarz in der Halbleiterindustrie eine Lösung für Sie sein kann? Sprechen Sie uns an!

Ob Sie weitere Informationen, Muster, ein Angebot oder Beratung für ein Projekt benötigen, wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung.

Man in glasses in business office on phone while working on laptop_330x190.jpg

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