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Microscopic pressure sensor for MEMS package

Sensoren

Sensoren spielen eine entscheidende Rolle für Sicherheit, Zuverlässigkeit und Effizienz in einer Vielzahl von Anwendungen – von Drucksensoren bis hin zu Positionssensoren. Diese Anwendungen stellen hohe Anforderungen an Materialien, die außergewöhnliche Leistung selbst unter rauen Bedingungen bieten müssen. Mit jahrzehntelanger Erfahrung im Bereich Electronic Packaging ist SCHOTT perfekt für die hohen Anforderungen von Sensoranwendungen geeignet.
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

Drucksensoren

Drucksensoren werden häufig in Halbleiteranwendungen eingesetzt. Sie überwachen und regeln Drücke in Vakuumkammern (z. B. beim Ätzen oder CVD), Gasversorgungssystemen und Pumpleitungen, um präzise Bedingungen für die Waferverarbeitung zu gewährleisten. Darüber hinaus erkennen sie Lecks und sorgen für Stabilität in Werkzeugen wie Lithografiescannern und Plasmaätzern.

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Industrial machine actuators

Aktoren

In der Halbleiterfertigung ermöglichen Aktuatoren eine präzise Bewegungssteuerung, Positionierung und Automatisierung in verschiedenen Prozessen wie Wafer-Handling, Lithografie, Ätzen und Inspektion. Hermetische Gehäuse schützen piezoelektrische Aktoren in Massendurchflussreglern vor korrosiven Gasen, Feuchtigkeit und Staub und gewährleisten so langfristige Präzision in der Halbleiterfertigung. Die hermetische Abdichtung von SCHOTT verhindert Beschädigungen, reduziert die Abdrift und verlängert die Lebensdauer von Aktuatoren, was eine zuverlässige, ertragreiche Produktion in ultrareinen Umgebungen ermöglicht.

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Technician repairing engine component

Gassensoren

Gassensoren sind wichtig, um Ausbeute, Sicherheit und Konformität in der Halbleiterfertigung zu gewährleisten. Gassensoren können beispielsweise giftige und brennbare Gase aus dem Herstellungsprozess erkennen und die Luftqualität in Reinräumen überprüfen. Die Gassensoren mit hermetischen Gehäusen und Durchführungen von SCHOTT zeichnen sich durch eine verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit aus.

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A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

Temperatursensor

Für die Halbleiterfertigung ist eine präzise Temperaturregelung und -überwachung ein entscheidender Faktor. Faseroptische Systeme ermöglichen präzise Ferntemperaturmessungen in dieser anspruchsvollen Umgebung. Ein Beispiel ist der Einsatz in Layer Deposition Anwendungen, bei denen die Temperaturüberwachung entscheidend ist, um sicherzustellen, dass die abgeschiedenen Schichten den Spezifikationen entsprechen.

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Silicon Wafer during Photolithography Process.

Positionssensor

In der Photolithografie entwickeln wir faseroptische Lösungen für Alignment- und Overlay-Systeme, die sicherstellen, dass verschiedene Schichten präzise zueinander ausgerichtet sind – ein entscheidender Faktor für die Funktionalität der Elemente.

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