MEMpax®

Eine einzigartige Vielzahl von außergewöhnlichen Eigenschaften macht MEMpax® zu einem ausgezeichneten Produkt für eine Vielzahl von Anwendungen. Die Widerstandsfähigkeit in der Verarbeitung, die Eignung für das Hochtemperaturbonden, eine große Auswahl an Größen und die konkurrenzlos große Zahl an geringen Dicken zeichnen MEMpax® aus.

Hohe Beständigkeit bei extrem geringen Dicken

Herausragende chemische Beständigkeit

Wie das bahnbrechende BOROFLOAT® von SCHOTT bietet MEMpax® die höchste chemische Beständigkeit und hält auch den aggressivsten Bedingungen bei Bearbeitung und Anwendung stand. Aufgrund seiner Glaszusammensetzung ist MEMpax® zudem ein hochwertiger elektrischer Isolator.

Auf Bonding ausgelegt

MEMpax® hat einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CTE), der dem eines Silizium-Wafers entspricht. Das ermöglicht anodisches Bonden von Glas und Siliziumwafern mit sehr geringen Spannungen. Die extrem geringe Rauheit der Oberfläche (typischerweise Ra ≤ 0,5 nm) erleichtert diesen Prozess zusätzlich.

Nutzbare Wellenlängen

Ähnlich wie BOROFLOAT® weist MEMpax® eine hohe Transmission im sichtbaren Wellenlängenbereich bis tief in den UV-Bereich auf Dadurch ist das Material sehr gut für die UV-Debonding in Halbleiterprozessen geeignet.

Passende Formen, Größen und Dicken

SCHOTT ist stolz auf die Zusammenarbeit mit Kunden, um deren Bedürfnisse so spezifisch wie möglich zu erfüllen. Unsere Glaswafer bilden in dieser Hinsicht keine Ausnahme. Erhältlich in kundenspezifischen Formen sowie als runde Standardvarianten, reicht das Größenspektrum von 2 bis 12″ mit Dicken von 0,07 bis 0,55 mm.

Materialeigenschaften

Optische Eigenschaften 

Tabelle mit den optischen Eigenschaften von MEMpax® Borosilikatglas

 

Thermische Eigenschaften

Tabelle mit den thermischen Eigenschaften von MEMpax® Borosilikatglas

 

Mechanische Eigenschaften

Tabelle mit den mechanischen Eigenschaften von MEMpax® Borosilikatglas

 

Transmissionswerte

Tabelle mit den Transmissionswerten von MEMpax® Borosilikatglas

 

Spektrale Transmission (250–3150 nm)

Grafik zur spektralen Transmission von MEMpax® Borosilikatglas (250–3150 nm)

 

Spektrale Transmission (250–500 nm)

Grafik zur spektralen Transmission von MEMpax® Borosilikatglas (250–500 nm)

 

Elektrische Eigenschaften 

Tabelle mit den elektrischen Eigenschaften von MEMpax® Borosilikatglas

 

Chemische Eigenschaften 

Tabelle mit den chemischen Eigenschaften von MEMpax® Borosilikatglas

 

MEMpax® Produkte

SCHOTT MEMpax® ist erhältlich als:

  • Unpolierte Substrate und Wafer
  • FLEXINITY®

Weitere Informationen finden Sie bei den jeweiligen Produkten auf der Übersichtsseite.

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