FOTURAN® II
SCHOTT FOTURAN® II ist ein photostrukturierbares Glas, das in einem kontinuierlichen Schmelzprozess hergestellt wird, das dadurch eine hervorragende Homogenität erreicht. Nach UV-Belichtung und Temperaturprozessen lassen sich feine und gleichmäßige Strukturen erzeugen, die in Bereichen eingesetzt werden können, die sowohl die Eigenschaften von Glaskeramik als auch feine Strukturen erfordern.
Extrem feine, fortschrittliche Strukturierung
FOTURAN® II ist ein photostrukturierbares Glas, dessen durch UV-Bestrahlung und Wärmebehandlung kristallisierte Bereiche geätzt werden können, um eine besonders feine Strukturierung mit hohem Aspektverhältnis zu erzeugen – bei Bedarf in kundenspezifischen 3D-Formen. Nach einem zweiten Belichtungs- und Vorspannprozess kann FOTURAN® II auch in eine opake Glaskeramik umgewandelt werden.
Anpassbar an Halbleiterverpackungen
Fein strukturierte FOTURAN® II Substrate erfüllen bei Halbleiter- und Packaging-Prozessen eine sehr nützliche Funktion. Die Strukturierung kann ohne den Einsatz von Photoresist erreicht werden und kann mit den in der Halbleiterindustrie üblichen Geräten verwendet werden, wodurch der Arbeitsaufwand und die zusätzlichen Kosten minimiert werden.
Ausgezeichnete technische Eigenschaften
FOTURAN® II besticht durch eine Vielzahl von technischen Eigenschaften, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Es handelt sich um eine hochgradig gleichmäßige Glaskeramik dank des kontinuierlichen Schmelzprozesses bei der Herstellung, während es einen niedrigen TTV, geringe Rauheit und eine niedrige Fehlerrate bei einer Reihe von Dicken, einschließlich extrem dünner Waferform, bietet. Die Strukturierung mit FOTURAN® II Wafer ist einfach mit Standard-Halbleiteranlagen möglich, wobei diese Strukturen gleichmäßige Eigenschaften und Leistungssicherheit bieten.
Photostrukturierbar
Waferstrukturen, die mit Halbleiter-Standardverfahren, wie z. B. UV-Belichtung, hergestellt wurden.
Extrem homogene Zusammensetzung
Kontinuierliches Schmelzen während der Produktion führt zu hoher Homogenität.
Ausgezeichnete Stabilität
Hohe mechanische, thermische, elektrische und chemische Stabilität und unbeeinflusst von normaler Umgebungsbeleuchtung.
Halbleiterkompatibilität
Hohe Kompatibilität mit Standard-Halbleiterausrüstung.
Kann keramisiert werden
Durch eine zweite UV-Belichtung in Kombination mit einem Vorspannprozess entsteht ein keramisches Substrat.
Anpassungsfähige Transmission
Durch die Einstellung der Fotostrukturierungsparameter sind unterschiedliche Transmissionsgrade erreichbar.
