SCHOTT Primoceler®によるガラスマイクロボンディング

SCHOTT Primoceler®によるガラスマイクロボンディング

ガラスマイクロボンディングは、用途の広い気密封止技術で、さまざまな用途への導入実現の可能性があります。 例えば、医療、航空宇宙、MEMS、マイクロオプティクスが挙げられます。
Size comparison between a typical implant design and a miniature all-glass hermetic implant sealed with Glass Micro Bonding

医療機器用デバイスとインプラント

過去40年間、医療用インプラントはチタンで封入されていました。 SCHOTT Primoceler®によるガラスマイクロボンディングは、インプラントにおけるガラスの使用を可能にし、真の気密封止を提供します。 特別に配合されたガラスには、生体適合性と優れた高周波特性があり、ワイヤレスデータと電気信号の転送を可能にします。 高精度の封止工程は、室温で可能で、超小型化と最先端の仕上げ部品を実現します。

A satellite in orbit over Earth with the sun seen on the horizon

航空宇宙

ガラスマイクロボンディングは、信頼性に優れたオールガラスのパッケージの製造を可能にし、過酷な環境における高い安定性を維持します。 完全な気密封止が、失敗が許されない航空宇宙の状況において重要視されている安定した機器の動作を実現します。 SCHOTT Primoceler®は、これまで欧州宇宙機関を支援するプロジェクトに取り組んできました。

MEMS device shown in a close-up cross-section rendering

MEMS

SCHOTT Primoceler® は、ガラスマイクロボンディングを利用し、ダイとパッケージの比率の最大化を目的として超薄型ガラスを使用したMEMS向けの気密パッケージを創造します。 室温での正確なレーザー封止は、封入された可動部品を湿気から保護し、接合プロセスによる影響を受けないようにすることができます。 貫通部の要件のために、非常に信頼性に優れたSCHOTT HermeS®高気密・極細貫通電極付ガラス(TGV)を使用することができます。

A miniaturized retinal implant shown as an example of wafer-level micro-optics

ウエハーレベル・マイクロオプティクス

マイクロオプティクスは、身近な機器への応用が進んでいます。 例えば、モバイル機器に組み込まれたカメラやジェスチャーセンサー、3Dスキャンなどがあり、非常に高い精度が要求されます。 ガラスマイクロボンディングは、精密な気密封止を備えた小型のアセンブリを可能にし、マイクロオプティクス用途における機能をサポートします。

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