HermeS®
MEMS-Sensoren für die Industrie und Automobilindustrie
Industrielle Anwendungen können eine große Herausforderung für MEMS-Bauteile und Sensoren darstellen. Zum Beispiel erfordern Drucksensoren in korrosiven Industrie- und Automobilproduktionslinien den Schutz durch TGV-Wafer-Technologie, damit sie die extremen Bedingungen der Fertigung überstehen und mit hoher Effizienz funktionieren können.
RF MEMS
Kommunikationssysteme profitieren von SCHOTT HermeS® Wafern mit hermetisch integrierten Metallkontakten, weil sie dank ihres Miniatur-Designs und ihrer Hermetizität hervorragende Hochfrequenzeigenschaften bieten.
Medizinische MEMS
SCHOTT HermeS® Through-Glas Via Wafer eignen sich ideal als Gehäuse für medizinische MEMS-Bauteile wie Blutdrucksensoren und Neurostimulatoren, da die robuste Verkapselung die Elektronik vor Körperflüssigkeiten schützt.
