MEMpax®

MEMpax® 硼硅酸盐玻璃的多功能性源自其下拉生产工艺,可形成原始的光滑表面。 结合低平整度和高均质性,再加上出色的材料性能组合,MEMpax® 在电子和生物技术领域开辟了多种应用。
A tiny pressure sensor featuring SCHOTT MEMpax® borosilicate glas

压力传感器

MEMpax® 是压力传感器的理想选择。 作为未抛光和结构化的晶圆,MEMpax® 可用作承载功能性 MEMS 芯片的基座。 这些产品广泛应用于汽车、工业、交通和医疗保健领域,并且 SCHOTT 在这些领域建立了长期可靠的业务。

Diagram of a LiDAR system featuring MEMS mirrors with a window made using SCHOTT MEMpax® glass

MEMS 镜片

由于其独特的热、光学、外观和几何特性,MEMS 镜片广泛用作各种 MEMS 镜片应用的视窗。 与硅相近的热膨胀性能为阳极键合提供了可能性,进而实现气密封装,而低厚度又提供了更小的形状因子,促进光学应用设计改进。 此外,原始表面可以与有效的抗反射镀膜涂层相结合。

Man looking at a smartphone playing a podcast

射频集成电路封装

由于 SCHOTT MEMpax® 的介电常数是市场上所有薄玻璃中最低的,因此,非常适合于高频 (> 30GHz) 应用。 由于 MEMpax® 玻璃具有低粗糙度和低 TTV,成为射频集成电路的绝佳选择。

Close up of a laboratory diagnostics device in the field of biotechnology

诊断和生物技术

最佳灵敏度在诊断和生物技术领域至关重要,而 SCHOTT MEMpax® 具有高透过率和低自发荧光,成为一系列设备和仪器的理想选择。 无论是生物芯片基片、微流控还是芯片实验室系统,MEMpax® 都能提供低信噪比和出色的表面质量。

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