MEMpax®
压力传感器
MEMpax® 是压力传感器的理想选择。 作为未抛光和结构化的晶圆,MEMpax® 可用作承载功能性 MEMS 芯片的基座。 这些产品广泛应用于汽车、工业、交通和医疗保健领域,并且 SCHOTT 在这些领域建立了长期可靠的业务。
MEMS 镜片
由于其独特的热、光学、外观和几何特性,MEMS 镜片广泛用作各种 MEMS 镜片应用的视窗。 与硅相近的热膨胀性能为阳极键合提供了可能性,进而实现气密封装,而低厚度又提供了更小的形状因子,促进光学应用设计改进。 此外,原始表面可以与有效的抗反射镀膜涂层相结合。
射频集成电路封装
由于 SCHOTT MEMpax® 的介电常数是市场上所有薄玻璃中最低的,因此,非常适合于高频 (> 30GHz) 应用。 由于 MEMpax® 玻璃具有低粗糙度和低 TTV,成为射频集成电路的绝佳选择。
诊断和生物技术
最佳灵敏度在诊断和生物技术领域至关重要,而 SCHOTT MEMpax® 具有高透过率和低自发荧光,成为一系列设备和仪器的理想选择。 无论是生物芯片基片、微流控还是芯片实验室系统,MEMpax® 都能提供低信噪比和出色的表面质量。