MEMpax®
MEMpax® 具有独特的卓越性能，成为广泛应用的首选产品。 加工的耐用性、高温键合的适用性、多种尺寸以及无与伦比的低厚度范围，使 MEMpax® 从系列产品中真正脱颖而出。
材料特性
1. 光学特性
| 光学特性 | 值 |
|---|---|
| 折射率* ng | 1.4803 |
| 折射率* nF' | 1.4768 |
| 折射率* nF | 1.4765 |
| 折射率* ne | 1.4732 |
| 折射率* nd | 1.4715 |
| 折射率* nD | 1.4714 |
| 折射率* nC' | 1.4696 |
| 折射率* nC | 1.4693 |
| 阿贝数 νe | 65.4 |
| 光弹性常数 单位 (nm/cm)/Mpa | 39.8 |
* 折射率：样品预处理。
出厂状态 [“如图所示”]
2. 热学特性
| 一般热学特性 | 单位 | 值 |
|---|---|---|
| CTE（热膨胀系数）α | 10-6·K-1 (20 °C; 300 °C) | 3.26 |
| 平均比热容 cp | 单位 J/(g·K)(20 °C; 100 °C) | 0.82 |
| 转化温度 Tg | 单位 °C | 532 |
| 黏度 | 黏度 lg ŋ（单位 dPas） | 温度 °C |
|---|---|---|
| 应变点 | 14.5 | 528 |
| 退火点 | 13.0 | 570 |
| 软化点 | 7.6 | 831 |
3. 机械特性
| 机械特性 |
单位 | 值 |
|---|---|---|
| 密度 ρ | 单位 g/cm³ | 2.22 |
| 杨氏模量 E | 单位 kN/mm² | 62.7 |
| 泊松比 μ | 0.196 | |
| 扭转模量 G | 单位 kN/mm² | 26.2 |
| 努氏硬度 | HK 0.1/20 | 430 |
| 维氏硬度 | HV 0.2/25 | 510 |
化学钢化（厚度 = 0.2 mm）
| 单位 |
值 |
|---|---|
| 温度 ϑ （单位 °C） | 430 |
| 时间 t（单位：小时） | 4 |
| 压缩应力（CS）（单位：MPa） | 120 |
| 层深度（DoL）（单位：μm） | 8 |
4. 化学特性
| 耐水解性（依据 DIN ISO 719） | 值 |
|---|---|
| 等级 | HGB 1 |
| 每克玻璃颗粒的碱当量（单位：μg/g） | < 31 |
| 耐酸性（依据 DIN 12116） | 值 |
|---|---|
| 等级 | S 1 |
| 6小时后半表面重量损失（单位：mg/dm²） | 0.16 |
| 耐碱性（依据 ISO 695） | 值 |
|---|---|
| 等级 | A 2 |
| 3 小时后的表面重量损失（单位：mg/dm²） | 132 |
5. 电学特性
| 介电常数 εr（ϑ = 25°C 条件下） | 值 |
|---|---|
| 1 MHz | 4.8 |
| 1 GHz | 4.4 |
| 2 GHz | 4.5 |
| 5 GHz | 4.4 |
| 24 GHz | 4.4 |
| 77 GHz | 4.4 |
| 损耗因子 tan δ（ϑ = 25°C 条件下） |
值 |
|---|---|
| 1 MHz | 38 · 10-4 |
| 1 GHz | 58 · 10-4 |
| 2 GHz | 62 · 10-4 |
| 5 GHz | 73 · 10-4 |
| 24 GHz | 100 · 10-4 |
| 77 GHz | 150 · 10-4 |
| 体积电阻率 ρD 单位 Ω·cm 直流电 |
|---|
| 1.18 ·108 ( ϑ = 250 °C) |
| 4.24 ·106 (ϑ = 350 °C) |
6. 透过率值
光谱透过率 (250-3150 nm)
光谱透过率 (250-500 nm)
| 厚度0.2毫米情况下的波长（nm）： | τ (λ)（单位 %） |
|---|---|
| 254 | 28 |
| 380 | 92.4 |
| 632.8 | 92.8 |
| 1064 | 92.7 |
| 厚度（mm）情况下的边缘波长 λc（τ = 0.46） | 波长（单位 nm） |
|---|---|
| 0.2 | 269 |
| 0.3 | 279 |
| 0.5 | 283 |
| 0.7 | 288 |
| 厚度（mm）情况下的光透射率 | τvD65 单位% |
|---|---|
| 0.2 | 92.8 |
| 0.5 | 92.8 |
MEMpax® 产品
SCHOTT MEMpax® 供应形式：
- 未抛光基片和晶圆
- FLEXINITY®
如要了解更多信息，请参见概览页面的相关产品。
