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Microscopic pressure sensor for MEMS package

传感器

传感器在确保从压力传感器到定位传感器的各种应用的安全性、可靠性和效率方面发挥着至关重要的作用。这些应用需要能够在恶劣环境中提供卓越性能的材料。肖特在电子封装领域拥有数十年的专业知识，非常适合满足传感器应用的严格要求。
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

压力传感器

压力传感器广泛用于半导体应用。它们监测和调节真空室（例如，在蚀刻或CVD期间）、气体输送系统和泵送管路中的压力，以确保晶圆加工的精确条件。此外，它们还可以检测泄漏并保持光刻扫描仪和等离子蚀刻机等工具的稳定性。

产品
Industrial machine actuators

驱动器

在半导体制造中，执行器可在晶圆处理、光刻、蚀刻和检测等各种过程中实现精密运动控制、定位和自动化。气密封装可保护质量流量控制器中的压电致动器免受腐蚀性气体、湿气和灰尘的影响，确保半导体制造的长期精度。肖特的气密密封可防止损坏、减少漂移并延长执行器的使用寿命，从而在超洁净环境中实现可靠、高产量的生产。

产品
Technician repairing engine component

气体传感器

气体传感器对于确保半导体制造中的良率、安全性和合规性非常重要。例如，气体传感器可以检测制造过程中的有毒和易燃气体，并检查洁净室的空气质量。采用肖特密封封装和贯穿件的气体传感器具有更高的性能和可靠性。

产品
A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

温度传感器

对于半导体制造而言，精确的温度控制和监测是确保高质量和可靠半导体器件的关键。光纤温度传感可在这种具有挑战性的环境中提供高度精确的远程温度读数。例如，光纤温度传感可以作为层沉积机的一种选项，其中温度监测对于确保沉积层符合规格至关重要。

产品
Silicon Wafer during Photolithography Process.

定位传感器

在光刻领域，我们为对准和叠加系统设计光纤解决方案，以确保多层精确对齐，这对于设备功能至关重要。

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