Four clear circular samples of SCHOTT MEMpax® thin borosilicate glass on a black background

MEMpax®

MEMpax® 是一款极薄、光滑的硼硅酸盐玻璃,具有真正的多功能性。 虽然该款玻璃与 SCHOTT 盛名的 BOROFLOAT® 具有相似的化学和物理特性,但凭借其较低的厚度和火抛光表面,开辟了许多潜在的新应用领域。
Tiny pressure sensor using a glass pedestal at wafer level

纤细厚度和表面

SCHOTT MEMpax® 厚度极低 (0.07-0.55 mm),扩展了久负盛名的 BOROFLOAT® 硼硅酸盐玻璃厚度产品组合。 该款玻璃还具有原始的火焰抛光表面,无需研磨和抛光,可用于需要极薄硼硅酸盐玻璃的任何方面,如 MEMS 和生物技术应用。

Hand holding an ultra-thin glass sheet with lab-on-a-chip system

出色的通用性

独特的厚度结合出色的性能,扩展了 MEMpax® 的应用潜力。 CTE(热膨胀系数)与硅片相近,是阳极和其他键合工艺中晶圆应用的理想选择。 低自发荧光、高紫外线透过率和不导电气特性,进一步扩大了其应用潜力。

我们通过了多项认证

我们已通过 ISO 9001 和 14001 认证。 MEMpax® 的所有生产阶段都受到持续监控,并且我们的所有玻璃产品在装运前都经过严格的质量检查。 我们的基板还符合 EU-RoHS 和 EU-REACH 标准。

Diagram of the components of an infrared camera in a smartphone
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