FOTURAN® II
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FOTURAN® II

FOTURAN® 是一款高度通用和可靠的可光结构化玻璃陶瓷，属领先的科学、工程和技术品牌，驰名 30 多年。 SCHOTT开发了 FOTURAN® II，这种材料是在相同配方的基础上改进而成，为光敏玻璃晶圆提供更高的标准。

均质、多用途、精确

高透过率，优异的光敏性

采用类似于光学玻璃生产使用的熔化方法，连续熔化为 FOTURAN® II 提供了非常高的均匀性。 还可以在 350 nm 和 2.700 nm 范围内提供超过 90% 透过率（1 mm 厚度基片）。

根据您的需求定制厚度和表面质量

FOTURAN® II 具有低 TTV、低粗糙度和低缺陷率，以及高度适应性的尺寸和形状。 此外，还可根据客户的具体要求提供一系列厚度和定制规格。

使用标准设备进行简单结构化

FOTURAN® II 通过半导体标准程序（如紫外线曝光、热处理和湿法蚀刻），简化了晶圆结构的生产，而不需要光致抗蚀剂。 这是一种与标准半导体设备可靠兼容的材料，每一步骤都对应一个较宽的工艺视窗。

高精度，均匀结构公差

FOTURAN® II 玻璃晶圆结构的优势之一是其高度均匀的光敏性。 这是由于 SCHOTT 采用验证成熟的先进程序，类似于半导体制造过程中的光刻工艺。
可用产品
结构化过程和特性

可用产品

SCHOTT FOTURAN® II 供应形式：

  • 抛光基片和晶圆

 

如要了解更多信息，请参见概览页面的相关产品。


结构化过程和特性

工作原理

FOTURAN® II 是一款可以光结构化的微晶玻璃，三步可结构化 — 并且第四步可选地进行陶瓷化

FOTURAN® II 结构化过程的四个步骤图示说明

1) 析晶过程中不同的温度分布导致形成不同的晶体结构

 

标准光结构化过程

FOTURAN® II 结构化过程包括紫外线曝光、热处理和蚀刻以及后续的可选的陶瓷化步骤

FOTURAN® II 结构化过程四个阶段图表

1) 适用于 0.5 mm 厚的基片 - 其他厚度的参数可能不同

2) 最佳理论曝光波长为 312 nm

 

未加工 FOTURAN® II 的透过曲线

在透射斜率的变化过程中，FOTURAN® II 的最高紫外敏感度在 290-330 nm 范围内可见

SCHOTT FOTURAN® II 玻璃透过曲线图表

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