光学元件
在精确性至关重要、材料和加工质量决定着光线的严格控制的领域，肖特具有生产优质产品的技术和设备。 丰富的专业知识和最先进的工程技术相结合，确保提供出色的结果。
棱镜
可提供的棱镜种类：
- 直角棱镜
- 菱形棱镜
- 五角棱镜
- TIR 棱镜
- 立方体分束器
- 屋脊棱镜
- 保罗棱镜
边长范围10 - 150毫米，具体取决于客户的规格。
可提供的棱镜加工形式：
- 切割棱镜
- 铣削棱镜
- 抛光棱镜
- 抛光/涂层棱镜
制造方法
- 我们的标准量产方法：
熔化 → 压制 → 抛光 → 涂层 - 制造原型时，还可采用数控加工的更快方法。
质量保证/测量
- 使用干涉仪测量表面平整度（λ/10 精确度）。
- 使用白光干涉仪测量表面质量。
- 使用 Zeiss Vista CMM 测量 3D 尺寸。
透镜
肖特生产各种形状和尺寸的透镜。 作为最多样化、应用最广泛的光学元件之一，这类透镜可以使用120种不同的玻璃之一制成，可以具有球形或非球形表面，由一种或两种材料制成。
球面透镜
可提供的球面透镜种类：
- 平面-凸面/平面-凹面透镜
- 双凸/双凹透镜
- 双合或三合消色差透镜
- 弯月透镜
直径范围 3 - 90 毫米，具体取决于客户的规格。
可提供的球面透镜加工形式：
- 压制
- 抛光或涂层球面透镜
- 胶合透镜（单透镜、双合、三合透镜）
非球面透镜
肖特非球面透镜可实现出色的图像质量，表面经过改进，可定制设计、灵活生产，总透光率更高，范围广泛的玻璃材料可提供所有这些特点。
更多信息请参见概览页面的相关产品“非球面透镜”。
平面光学元件
可提供的平面光学元件种类：
- 光学窗口
- 防护窗
- 光学玻璃板
- 用于显微光刻的基板
- 布儒斯特窗或椭圆窗口
- AR 涂层激光线窗口
- 介质镜和金属镜
- 二向色长波通和短波通滤光片
- 窄带滤光片
各种光学材料都可加工制成平面元件，包括肖特的光学和滤光玻璃、石英玻璃、蓝宝石和 ZnS 产品系列。
平面元件可进行双面抛光实现最佳透射波阵面，也可进行单面抛光达到出色的平整度。
直径范围 2-625 毫米，具体取决于客户的规格。 可通过钻孔、切割和复杂的数控加工确保最终成形，也可准确按照您的具体要求提供从紫外线到红外线的定制涂层。
平面组件的机械安装和光学装配。
| 商业品质 | 精度质量 | 超精质量 |
|||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径 | 3 – 625 mm | 3 – 350 mm | 2 – 200 mm | ||||
| 直径公差 | ± 0.2 mm | ± 0.050 mm | ± 0.005 mm | ||||
| 厚度公差 | ± 0.2 mm | ± 0.050 mm | ± 0.020 mm | ||||
| 平行度 | < 3 弧分 | < 1 弧分 | < 10 弧秒 | ||||
| 表面精度 | 2λ | λ/4 | λ/20* | ||||
| 表面质量（划痕和坑洼） | 80/50 | 60/40 | 10/5 | ||||
| 表面粗糙度 | 5 nm | 2 nm | 5 nm | ||||
| 涂层 | 定制的光学涂层解决方案 | 定制的光学涂层解决方案 | 定制的光学涂层解决方案 | ||||
光学玻璃晶圆
- 晶圆的生产符合 SEMI 标准，包括尺寸、平坦度和槽口规格。
- 根据客户要求进行激光标记。
- 可按要求提供涂层。
- 每批货都提供质量报告。
- 用晶圆盒、框架盒或 前开口运输箱（FOSB）包装。
标准
| 直径 | 最大200毫米 | 最大300毫米 |
||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 厚度 [毫米] | 0.3 - 5 | 0.3 - 5 | ||||
| 厚度公差 [µm] | ± 5 |
± 5 | ||||
| TTV [µm] | < 5 | < 5 | ||||
| 翘曲度 [µm] | < 30 | < 70 | ||||
| 弯曲度 [µm] | ± 30 | ± 50 | ||||
| 平行度 [arcsec] | < 30 | < 30 | ||||
| 粗糙度 (Ra) [nm] | < 1 | < 1 | ||||
| 外观 (MIL-PRF-13830B) |
40 - 20 | 40 - 20 | ||||
精度*
| 直径 | 最大200毫米 | 最大300毫米 |
||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 厚度 [毫米] | 0.3 - 5 | 0.3 - 5 | ||||
| 厚度公差 [µm] | ± 5 |
± 5 |
||||
| TTV [µm] | < 1 | < 1 | ||||
| 翘曲度 [µm] | < 20 | < 50 | ||||
| 弯曲度 [µm] | ± 5 | ± 10 | ||||
| 平行度 [arcsec] | < 5 | < 5 | ||||
| 粗糙度 (Ra) [nm] | < 0.5 | < 0.5 | ||||
| 外观 (MIL-PRF-13830B) |
最大 20-10 | 最大 20-10 | ||||
* 可按要求提供更严格的公差。
