光学薄膜

肖特长年积累的高端产品开发能力使我们可提供品种繁多的光学薄膜产品。 这意味着我们可以在各种应用领域根据您的需求定制光学元件的光谱特性以提高光学系统性能。

高光谱性能薄膜

高透射率

我们的减反膜和滤光片膜确保从紫外到红外的宽光谱范围高透射率。 取决于所需的带宽和激光波长的数量,我们可根据您的特定需求量身定制透射率。

覆盖所有波段的高反射率

肖特反射镜在很宽的光谱范围内都有很高的反射率,适合在您的应用领域精确地控制光束。 我们的金属和介质反射镜产品系列为您提供完美的定制解决方案,尤其是在大功率激光应用和光束控制方面。

出色的耐用性

我们品种繁多高耐用性滤光片和硬质薄膜产品系列在各种领域表现出色,确保长期稳定的工作性能。 此性能的实现得益于现代镀膜技术(如磁控管和离子束溅射)以及可靠的滤光片模组。

高激光损伤阈值(LIDT)

我们的介质反射镜和减反膜具有出色的耐用性,可承受高功率激光应用中最大的激光辐射强度。 LIDT 性能可以针对激光类型、脉冲宽度和波长进行优化。

减反膜

减反膜通过减少表面反射来增加光学系统的整体透射率。 肖特提供品种繁多的减反膜系列,广泛应用于从DUV 深紫外到 IR近红外波长范围的成像、激光、国防和航空航天等应用领域。

薄膜种类 波长范围(纳米) 反射率 典型入射角 激光损伤阈值 划痕/麻点 尺寸不超过
V 形减反膜 248 - 1650 < 0.1 % 0° - 15° - 最高 20/10 Ø 300 mm
宽带减反膜 248 - 1650 < 0.5 % 0° - 15° - 最高 20/10 Ø 300 mm
耐划伤硬质减反膜 420 - 1100 < 1.5 % 0° - 30° - 40/20,最高 20/10 Ø 300 mm
低缺陷减反膜 380 - 780 < 0.5 % 0° - 15° - < 10/5 60 x 60 mm²
激光波长减反膜 500 - 1650 < 0.2 % 0° - 15° 30 J/cm²(1064 nm, 10 ns)
10 J/cm² (532nm, 10 ns)
20/10,最高 10/5 150 x 150 mm²
多波长减反膜 248 - 1650 < 1 % 0° - 15° 20 J/cm² (1064 nm, 10 ns) 20/10,最高 10/5 Ø 300 mm

可根据要求提供其他入射角范围。 反射率取决于所需的带宽和激光波长或波段数量。 激光损伤阈值取决于激光种类、脉冲宽度和激光波长。  

反射镜薄膜

肖特反射镜在宽光谱范围内提供最高的反射率从而实现光束的精准转向。 我们的金属和介质反射镜产品系列可为您提供理想的定制解决方案,尤其是在大功率激光应用和光束控制方面。

薄膜种类 波长范围(纳米) 反射率 典型入射角 激光损伤阈值 划痕/麻点 尺寸不超过

宽带介质反射镜

248 - 1650 > 99 % 0° - 45° - 最大 20/10 Ø 300 mm
激光波长介质反射镜 248 - 1650 > 99.95 % 0° - 45° 30 J/cm²(1064 nm, 10 ns)
10 J/cm² (532nm, 10 ns)
40/20,最高 10/5 Ø 300 mm
多波长介质反射镜 420 - 1100 > 99.9 % 0° - 45° 20 J/cm² (1064 nm, 10 ns) 40/20,最高 10/5 Ø 300 mm
金属反射镜
(加保护膜 
及反射率增强)
铝: 200 - 15,000
银: 450- 15,000
金: 600- 15,000
> 85 %
> 97 %
> 96 %
0° - 60° - 40/20 Ø 300 mm

可根据要求提供其他入射角范围。 反射率取决于所需的带宽和激光波长或波段数量。 激光损伤阈值取决于激光种类、脉冲宽度和激光波长。

截止和带通滤光片

介质截止和带通滤光片可以精确控制光谱。 我们品种繁多的带通、短通和长通滤光片产品系列涵盖了很宽的光谱范围。 采用 IAD 和溅射工艺我们确保滤光片的高精度和耐用性。

薄膜种类 透射
范围(纳米)
通带透射率 FWHM 中心波长公差 陡度 截止/FWHM 公差 截止范围(纳米) 截止 划痕/麻点 典型尺寸(毫米)
带通滤光片 280 - 2500 Ø > 95 % 典型 25 – 150 nm +/- 1 % < 0.5 % +/- 1 % 200 – 5000 > OD3,最大
> OD6
60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 200
窄带滤光片 350 - 2000 Ø > 95 % < 2% CWL +/- 0.3 % < 0.5 % < 1 nm 200 – 5000 > OD 4,最大
> OD 6
60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 100
超窄带滤光片 450 - 1100 Ø > 90 % < 1 % CWL +/- 0.2 % < 0.5 % < 0,5 nm 200 – 5000 > OD4,最大
>
OD 6
60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 70
多波段带通滤光片 280 - 2500 Ø > 90 % 典型 20 – 25 nm +/- 0.2 % < 1 % +/- 1 % 200 – 5000 > OD4,最大
>
OD 6
60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 150
i-line 带通滤光片 365, 405, 463 最小 > 80 % < 3 nm +/- 0.2 % < 0.5 % < 0.5 nm 220 - 450 OD 2 - 3 40/20 Ø 100,最大 Ø 160
紫外波段带通滤光片 200 - 350 15 - 30 % 6 - 15 nm +/- 0.5 % < 5 % < 2 % 200 - 600 > OD 4 40/20 Ø 10,最大
Ø 25
多波段带阻滤光片 280 - 2500 Ø > 90 % 典型 20 – 25 nm +/- 0.2 % < 1 % < 0.5 % 200 – 5000 > OD 4,最大 > OD 6 60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 150
高陡度短通和长通截止滤光片 280 - 2500 Ø > 95 % - - < 0.5 % +/- 0.2 % 200 – 5000 > OD4,最大
>
OD 6
60/40,最高 20/10 5 x 5,最大
Ø 70

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