Close up of a circuit board with semiconductor in blue light

光刻机

光刻机被人们称为“用光雕刻的机器”,是芯片制造的核心设备之一。众所周知芯片是信息时代的基础,从通讯设备到显示设备,从生物医学到航空航天,芯片的影响无所不在,无所不能。由此可见,作为制造芯片的光刻机在这个信息时代,具有无可比拟和无可撼动的地位。

工业桂冠——光刻机

光刻机对半导体生产工艺具有决定性意义,他背后涉及了众多学科的智慧集成,包括数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学等等。毫不夸张地说,光刻机就是当代的工业桂冠。
戴手套的手展示电子芯片

持续的半导体危机影响甚远

疫情导致的“停工潮”等多重因素打乱了全球芯片供应链,而人们对电子互联产品的需求不减反升。2020年爆发的全球芯片短缺危机仍在持续中,并波及多个行业。 汽车、手机、PC显卡等面临芯片严重短缺和价格上涨。而汽车行业更是出现了部分企业短暂停产的情况。 面对全面缺“芯”的危机,中国市场却因此契机迸发出巨大潜力。

中国市场潜力

1)需求旺盛

自面临芯片短缺危机以来,研制中国自己的国产芯片被提上发展日程,制造芯片的光刻机需求相应提升。

展现2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量的图表

2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图(单位:台)

2)中国芯片产能提升

根据国家统计局数据,2021年第一季度,国内累计生产了高达820.5亿块芯片产品,同比增长了62.1%,并且目前中国国产芯片的产能依旧在不断地爬坡之中。

3)政策支撑

第三代半导体材料是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性和基础性产业,是国家新材料发展计划的重中之重。作为第二个百年计划的开端,“十四五”期间,中国将在教育、科研、开发、融资、应用等方面,大力支持发展第三代半导体产业,以期实现产业快速发展。十四五规划将对半导体产业链各个关键“卡脖子”环节重点支持,包括关键的半导体设备和材料。

助力光刻,德国肖特三箭齐发

深耕特种玻璃研发与制造长达130余年的德国肖特,为光刻机提供可定制和高灵活性的方案,助力行业发展。

基于玻璃光纤的光传输解决方案

在镜头上定位晶圆是每个光刻系统的核心部件之一。 为了测量晶圆并逐场处理,需要极高的精度和速度。 我们的光纤组件具有复杂的几何形状,并具有高质量的光学参数组合,可满足晶圆定位等先进传感测量设备的要求。 它们可实现高处理速度,而我们坚韧可靠的缆型设计可确保减少停机时间。

光刻机绘图

肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃

肖特零度®微晶玻璃是一种低热膨胀微晶玻璃,常用于对精度要求极高的高科技应用,例如光刻机。凭借其独特的特性,肖特零度®可以最大限度地减少材料几何形状和尺寸的变化,保持精度的一致性。 它还具有非凡的可加工性,可制成各种尺寸和形状,并具有高度均匀的性能,即使是即使是尺寸达 4.25 米的大型零件也是如此。

肖特零度®微晶玻璃产品样板

肖特 i-line 玻璃

肖特i-line玻璃是以代号为i的紫外汞谱线命名的光学玻璃类型,通常用于 i-line 步进机和晶圆扫描仪等光刻应用。 它可针对365纳米紫外线提供高 UV 透射率,同时确保高折射率均匀性。 这些镜片可根据客户要求,提供定制形状和现成元件。

两片肖特 i-line 玻璃样本
两名科学家在实验室

各行业领先企业的信赖之选

肖特凭借丰富的专业知识,充分理解所有不同行业的关键需求,并以此为客户提供定制化的解决方案。 布局光刻机,肖特可为合作伙伴提供全方位的支持,从具体应用产品到可定制化的解决方案,肖特助力合作伙伴一同探索光刻机的奥秘,共同助推行业发展。

Kevin Zhang,肖特光学成像事业部
Kevin Zhang,肖特光学成像事业部
由于肖特稳定的结构和规模,即使在充满挑战的时期,肖特也能承受市场波动,大量的资源允许我们对市场变化做出快速反应。正是因为可靠,肖特赢得了诸多行业内头部企业的信赖。