HermeS®

HermeS® 密封式玻璃通孔晶圆具有卓越的可靠性、出色的射频性能、极高的光学透明性,提供可与硅进行阳极键合的选择。这些性能使其可以生产微型MEMS系统驱动的设备和传感器。

HermeS® 的各种卓越功能

提高效率

通过将坚固的材料与玻璃-金属技术相结合,它可帮助微电子机械系统设备应对多种威胁,包括反复的医疗灭菌程序和腐蚀性的工业生产线。

耐用的元件

HermeS® 玻璃晶圆具有极高的耐机械、耐热和耐化学性,为延长微电子机械系统设备的使用寿命做出了重要贡献。

小型化选项

由于 SCHOTT HermeS® 密封式贯通玻璃通孔晶圆可直接连接至硅胶微电子机械系统上,因此设备设计的小型化程度大大提高,它可比陶瓷微电子机械系统设备小 80%。

品质保证

与贯通硅通孔(TSV)和其他贯通玻璃通孔相比,HermeS® 晶圆通过匹配玻璃材料和固态金属通孔的热膨胀系数,可在微电子机械系统设备生产和最终应用中实现出色的加工和质量控制。

晶圆规格

晶圆技术参数
晶圆厚度 500 ±20 μm (最小 280 μm)
晶圆尺寸 4 英寸、6 英寸、8 英寸
接触通孔间距 250μm 200μm 150μm*
接触通孔直径 100μm 80μm 50μm*
通孔密度 50k* (6"), 100k* (8")
通孔材料 钨(W)– 与 Borofloat®33 和 Af32®eco33 相结合
铁镍合金(FeNi42)– 与 D 263®Teco 相结合
(可根据要求提供其他规格)
气密性 [≤ 1 × 10–9Pa · m3/s], [≤ 1 × 10–8mbar/s], [≤ 1 × 10–8atm cc/s]

*正在开发中

玻璃规格

玻璃技术参数
玻璃材料 Borofloat®33 AF 32®eco 33 D 263®T eco
热膨胀系数
3.25 x 10-6/K
(与硅匹配)
3.2 x 10-6/K
(与硅匹配)
7.2 x 10-6/K
介电常数(1 MHz) 4.6 5.1 6.7
折射率(在600 纳米) 1.47 1.51 1.52

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吕超, 销售经理
吕超

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