HermeS®
晶圆规格
晶圆技术参数 | |||
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晶圆厚度 | 500 ±20 μm (最小 280 μm) | ||
晶圆尺寸 | 4 英寸、6 英寸、8 英寸 | ||
接触通孔间距 | 250μm | 200μm | 150μm* |
接触通孔直径 | 100μm | 80μm | 50μm* |
通孔密度 | 50k* (6"), 100k* (8") | ||
通孔材料 | 钨(W)– 与 Borofloat®33 和 Af32®eco33 相结合 铁镍合金(FeNi42)– 与 D 263®Teco 相结合 (可根据要求提供其他规格) |
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气密性 | [≤ 1 × 10–9Pa · m3/s], [≤ 1 × 10–8mbar/s], [≤ 1 × 10–8atm cc/s] |
*正在开发中
玻璃规格
玻璃技术参数 | |||
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玻璃材料 | Borofloat®33 | AF 32®eco 33 | D 263®T eco |
热膨胀系数 |
3.25 x 10-6/K (与硅匹配) |
3.2 x 10-6/K (与硅匹配) |
7.2 x 10-6/K |
介电常数(1 MHz) | 4.6 | 5.1 | 6.7 |
折射率(在600 纳米) | 1.47 | 1.51 | 1.52 |
吕超
销售经理