ZERODUR®

수십 년 동안 ZERODUR® 글라스세라믹의 고유한 기술 특성으로 인해 매우 낮은 열 팽창 소재를 사용하는 다양한 응용 분야에 이상적인 제품이 되었습니다. 이는 또한 천문분야에서 초정밀 미러 기판의 업계 표준이기도 합니다.

탁월한 특성을 가진 저열팽창 글라스세라믹

매우 낮은 열팽창

ZERODUR®가 열에 노출되면 2상 현미경 시스템의 미세 결정이 수축되며 주변의 유리 매트릭스가 팽창됩니다. 이는 전체적으로 제로에 근접한 팽창으로 이어지며 주변 온도에서 0±7ppb/K까지의 정확도로 달성됩니다.

극한 조건에서도 강력한 성능

ZERODUR®는 큰 온도 차이에 대한 불활성화는 물론, 최대 100MPa의 기계적 부하를 포함하는 응용 분야에 적합합니다. 당사는 장기적인 전문성과 파손 응력에 대한 데이터 획득을 통해 다양한 부하에서 수명을 예측하도록 지원할 수 있습니다.

균질하고 재현 가능

ZERODUR®의 주요 자산은 낮은 CTE뿐만 아니라 상당히 낮은 수준의 개재물, 스트리 및 체적 응력의 측면에서 탁월한 3D 균질성입니다. SCHOTT는 이러한 속성을 최대 4.25m의 규격까지 제공합니다.

맞춤형 형태

ZERODUR®는 매우 다양한 맞춤 형태로 사용할 수 있습니다. 고급 연삭 및 연마를 통한 몇 나노미터 미만의 거칠기로 첨단 기술 코팅을 위한 완벽한 기판을 제공합니다. 또한, 기계적 안정성을 유지하면서 무게는 최대 80%까지 가벼울 수 있습니다.

열 팽창

ZERODUR®의 CTE 공차

기본적으로 ZERODUR®의 평균 열 팽창 계수(CTE)는 0°C~50°C의 온도 범위 내에서 측정됩니다. 다섯 가지 팽창 등급은 다음과 같이 구분됩니다.

CTE 등급표 CTE (0°C; 50°C)*
ZERODUR® 팽창 등급 2 0 ± 0.100 ・ 10-6/K
ZERODUR® 팽창 등급 1 0 ± 0.050 ・ 10-6/K
ZERODUR® 팽창 등급 0 0 ± 0.020 ・ 10-6/K
ZERODUR® 팽창 등급 0 스페셜 0 ± 0.010 ・ 10-6/K
ZERODUR® 팽창 등급 0 익스트림 0 ± 0.007 ・ 10-6/K
ZERODUR® 맞춤 제작

맞춤형 ± 0.020 ・ 10-6/K 
(요청 시 ± 0.010 ・ 10-6/K) 
적용 온도에 최적화

*CTE(0°C; 50°C)는 0°C~50°C의 온도에서 선형 평균 열 팽창 계수를 설명합니다.

 

최대 적용 온도는 600°C입니다.

요청 시, ZERODUR®는 맞춤형 온도 범위에서 사용 가능합니다.

SCHOTT는 고객의 개별 응용 분야에 최적화된 팽창 등급 0 또는 그 이상을 제공합니다.

 

CTE 균질성

균질성은 블랭크 전체에 걸쳐 균질하게 분포된 CTE 샘플을 측정하고, 측정된 최고 값과 최저 값 사이의 CTE 차이를 계산하여 평가됩니다.

선형 팽창의 균질성은 다음 중량 등급에서 보장할 수 있습니다.

CTE (0°C; 50°C) 균질성 공차

  • 최대 18톤: < 0.03 ・ 10-6/K
  • 최대 6톤: < 0.02 ・ 10-6/K
  • 최대 0.3톤: < 0.01 ・ 10-6/K

 

측정된 CTE 균질성이 0.004 · 10-6/K인 1.5 m 직경 블랭크 내의 CTE 분포

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ZERODUR® K20의 CTE 공차

ZERODUR®의 고온 버전인 ZERODUR® K20은 더 높은 적용 온도를 견디도록 최적화되었습니다.

ZERODUR® K20의 선형 열 팽창의 평균 계수

  • CTE (20°C; 700°C): 2.4・10-6/K
  • CTE (20°C; 300°C): 2.2・10-6/K
  • CTE (0°C; 50°C): 1.6 ・ 10-6/K

최대 저용 온도는 850°C입니다.

내부 품질

주문을 받을 때 품질을 명시하지 않으면 ZERODUR®이 표준 품질로 공급됩니다. 내부 품질에 대한 개별 사양은 요청에 따라 이루어질 수 있습니다.

 

개재물

결함 수준은 낮지만, ZERODUR®에서 발견되는 주요 개재물은 기포입니다. ZERODUR® 부품을 검사하는 동안 직경 0.3mm이 넘는 모든 개재물을 고려합니다. 개재물이 구형 형태가 아닌 경우, 평균 직경은 길이 및 너비의 평균치로 보고합니다. ZERODUR®는 부품의 치수에 따라 정의된 6개의 다른 개재물 품질 레벨로 제공됩니다.

ZERODUR®의 개재물에 대한 품질 수준

100cm3당 평균 개재물 수:

표준 5.0
등급 4 5.0 
등급 3 4.0
등급 2 3.0
등급 1
2.0
등급 0
1.0

 

ZERODUR® 부품의 다양한 직경 또는 대각선에 대한 개별 개재물의 최대 직경(mm):

임계 부피에서 < 500mm  < 2,000mm < 4,000mm 
표준 1.4 2.0  3.0 
등급 4 1.2  1.8  2.5 
등급 3 1.0 1.6  2.0 
등급 2 0.8 1.5  1.8 
등급 1 0.6 1.2  1.6 
등급 0 0.4 1.0  1.5 

 

미임계 부피에서
< 500mm < 2,000mm < 4,000mm
표준 3.0  6.0 10.0
등급 4 2.0 5.0  8.0 
등급 3 1.5 4.0  6.0 
등급 2 1.0 3.0  6.0 
등급 1 0.8 3.0  6.0 
등급 0 0.6 3.0  6.0 

요청 시 개별 사양.

  

벌크 응력

ZERODUR®의 체적 응력 복굴절은 검사 방향의 두께에 따라 경로 차이로 기록됩니다. 디스크의 경우, 모서리 직경의 5%에서 축 방향으로 측정됩니다. 직사각형 플레이트의 경우, 플레이트 표면에 수직인 긴 면의 중간에서 측정을 수행합니다.

ZERODUR®의 체적 응력 품질 수준

직경 또는 대각선으로 된 부품의 경우  체적 응력 복굴절[nm/cm]:


< 500mm < 2,000mm  < 4,000mm
표준 6         12        15       
등급 4 4 10 12
요청 시 개별 사양

 

맥리

체적 응력 복굴절 외에도 국부적인 맥리에 의해 유발된 응력 복굴절은 부품 직경의 함수로 분류됩니다.

직경 또는 대각선으로 된 부품의 경우 맥리[nm/striae]에 의해 유발되는 응력 복굴절:


< 500mm < 2,000mm  < 4,000mm
표준 60  60  60 
등급 4  45 45  45 
등급 3 30  30  30 
등급 2  30  30 
등급 1  30 

가공

ZERODUR®는 고객의 기술 도면 및 사양에 따라 복잡한 형상으로 가공됩니다. 당사의 애플리케이션 및 공정 엔지니어는 제품의 설계 단계 중에 고객의 개별 적용에 맞는 ZERODUR® 특성을 최대한 활용할 수 있도록 지원합니다. 또한, 요청에 따라 유한 요소 모델링과 특수 품질 요구사항도 제공합니다.

5축 CNC 연삭기는 직경이 최대 4.25m인 ZERODUR® 부품을 정밀하게 제조할 수 있습니다. ZERODUR® 가공의 하이라이트는 엄격한 중량 요건을 가진 부품에 사용되는 포켓 높이 대비 리브 두께의 까다로운 종횡비를 연마한 가벼움에 있습니다.

당사는 단면 및 양면 연마를 통해 최대 500mm 치수의 다양한 표면 품질 등급을 제공합니다. 부품의 크기에 따라 나노미터 이하의 거칠기를 달성할 수 있습니다.

ZERODUR®는 코팅에 매우 좋은 기판 역할을 하므로 표준 알루미늄에서 300mm 미만의 부품에는 사용 가능한 복잡한 맞춤형 코팅에 이르기까지 여러 코팅이 가능합니다. 당사의 코팅 전문가들은 고객이 자신의 사양에 가장 적합한 코팅을 선택할 수 있도록 즉시 지원할 수 있습니다.

 

치수 및 형상에 관해 제안된 CNC 연삭 공차

치수 < 2,000 mm  공차 [mm] 더 엄격한 공차 [mm]*
길이, 폭, 높이
± 0.3 ± 0.1
직경 ± 0.3 ± 0.1
각도 ± 5’ ± 1’
평탄도** 0.1 - 0.2 0.1
원통도** 0.1 0.1
프로필** 0.2 0.1
평행도** 0.1 - 0.2  0.1 
위치 ** 0.1 0.1
동심도** 0.1 0.1
런아웃** 0.1 0.1
* 더 엄격한 공차는 크기와 형상에 따라 다릅니다. 자유롭게 결합될 수 없습니다.

** ISO 1101 기준

 

치수 ≤ 4,000mm
공차[mm]
더 엄격한 공차[mm]*
길이, 폭, 높이 ± 0.4
± 0.2
직경 ± 0.4 ± 0.2 
각도 ± 5’ ± 1’
평탄도** 0.2 0.1 
원통도** 0.2 0.1
프로필** 0.4 0.2
평행도** 0.2 0.1
위치 ** 0.2 0.1
동심도** 0.2 0.1
런아웃** 0.2 0.1
* 더 엄격한 공차는 크기와 형상에 따라 다릅니다. 자유롭게 결합될 수 없습니다.

** ISO 1101 기준

물리적 특성

굽힘 응력 및 수명 계산

탁월한 열 특성과 정밀도에 있어서 ZERODUR®는 첨단 기술 분야에서 선택받는 소재입니다. 또한, 이러한 응용 분야에서 종종 망원경 미러 홀더와 같이 지속적인 기계적 부하 또는 로켓 발사 시 단기적 부하에 견디는 것이 요구됩니다.

ZERODUR®의 파손 응력을 정량화하기 위해 평가해야 할 핵심 요소는 표면 품질, 특히 마이크로 랙의 발생입니다. 일반적으로 10MPa 인장 응력 미만의 하중을 가할 때에는 ZERODUR®의 특수 파열 분석을 요구하지 않습니다.

SCHOTT는 지상 ZERODUR® 샘플의 파손 이벤트에 대한 포괄적인 데이터를 통해 30~100MPa의 장기적인(10년) 기계적 부하를 견딜 수 있다는 것을 보여주었습니다. 이는 이전에 예측한 것보다 훨씬 더 높습니다. SCHOTT는 세 가지 파라미터의 와이블(Weibull) 분포를 사용하여, 개별적인 장기간의 기계적 부하에서 ZERODUR® 수명에 대해 논의합니다.

 

일반적인 기계적 및 광학적 특성

ZERODUR® ZERODUR® K20
20°C에서 열전도도 λ [W/(m・K)] 1.46 1.63
20°C에서 열 확산도 지수 a [10-6m2/s] 0.72 -
20°C에서 열 용량 cp [J/(g · K)] 0.80 0.90
20°C에서 영률 E [GPa]-평균 값 90.3 84.7
포아송비(Poisson‘s ratio) 0.24 0.25
밀도 ρ [g/cm3] 2.53 2.53
누프 경도 HK 0.1/20(ISO9385) 620 620
굴절률 nd 1.5424 -
아베수 νd 56.1 -
580nm/5mm 두께에서의 내부 투과율 Ti 0.95 -
580nm/10mm 두께에서의 내부 투과율 Ti 0.9 -
λ=589.3nm[10-6MPa-1]에서의 응력 광학 계수 K 3 -
20°C에서 전기저항 ρ [Ω · cm] 2.6 · 1013 -
Tk100 [°C], ρ에 대한 온도 = 108 [Ω · cm] 178 -

 

 

 

화학적 특성

실온에서 대부분의 산, 알칼리, 염분, 염료 용액은 ZERODUR® 표면에 잔류 흔적을 남기지 않습니다. 이는 고온에서 농축된 황산뿐만 아니라 플루오르화수소산에 의해 에칭될 수 있습니다. 또한 운모, 샤모트, MgO 및 SiO2와 같은 건축 자재는 ZERODUR®과 눈에 띄게 반응하지 않습니다(최대 600°C, 5시간). 반면 에나멜은 표면이 파괴되어 560°C 이상에서 반응합니다. 

소재에 대한 우수한 내화학성에 기반한, 거울과 같은 코팅은 재현 가능한 방식으로 제거할 수 있습니다. 연마된 표면은 최적화된 프로토콜로 간단하게 세척되고 다시 코팅됩니다.

 

일반적인 화학적 특성

  ZERODUR® ZERODUR® K20
가수분해 저항성 등급 (ISO 719) HGB 1  -
내산성 등급 (ISO 8424) 1.0
 -
내알칼리성 등급 (ISO 10629) 1.0  -
내후성 등급 1  -
얼룩 저항성 등급 0  -
20°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 1.6 · 106  -
100°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 5.0 · 107  -
200°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 7.2 · 108  -

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연락처.
Seong-won Kim, Sales Manager
Seong-won Kim

Sales Manager