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Microscopic pressure sensor for MEMS package

센서

센서는 압력 센서에서 포지셔닝 센서에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 안전성, 신뢰성 및 효율성을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다. 이러한 응용 분야에는 혹독한 환경에서 탁월한 성능을 제공할 수 있는 소재가 필요합니다. 전자 패키징 분야에서 수십 년간 축적된 전문 지식을 보유한 SCHOTT는 센서 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하는 데 매우 적합합니다.
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

압력 센서

압력 센서는 반도체 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 진공 챔버(예: 에칭 또는 CVD 중), 가스 공급 시스템 및 펌핑 라인의 압력을 모니터링하고 조절하여 웨이퍼 가공을 위한 정확한 조건을 보장합니다. 또한 리소그래피 스캐너 및 플라즈마 에칭기와 같은 도구에서 누출을 감지하고 안정성을 유지합니다.

제품
Industrial machine actuators

액추에이터

반도체 제조에서 액추에이터는 웨이퍼 처리, 리소그래피, 에칭 및 검사와 같은 다양한 공정에서 정밀한 모션 제어, 포지셔닝 및 자동화를 가능하게 합니다. 밀폐 패키징은 질량 유량 컨트롤러의 압전 액추에이터를 부식성 가스, 습기 및 먼지로부터 보호하여 반도체 제조에서 장기적인 정밀도를 보장합니다. SCHOTT의 밀폐 밀봉은 손상을 방지하고 드리프트를 줄이며 액추에이터의 수명을 연장하여 매우 깨끗한 환경에서 신뢰할 수 있는 높은 수율의 생산을 가능하게 합니다.

제품
Technician repairing engine component

가스 센서

가스 센서는 반도체 제조에서 수율, 안전성 및 규정 준수를 보장하는 데 중요합니다. 예를 들어, 가스 센서는 제조 공정에서 유독성 및 가연성 가스를 감지하고 클린룸의 공기 품질을 확인할 수 있습니다. SCHOTT 밀폐형 패키지와 피드스루가 있는 가스 센서의 성능과 신뢰성이 향상되었습니다.

제품
A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

온도 센서

반도체 제조에서 정밀한 온도 제어 및 모니터링은 고품질의 신뢰할 수 있는 반도체 장치를 보장하는 데 중요합니다. 광섬유 온도 감지는 이러한 까다로운 환경에서 매우 정확한 원격 온도 판독값을 제공합니다. 예를 들어, 광섬유 온도 감지는 증착된 층이 사양을 충족하는지 확인하기 위해 온도 모니터링이 중요한 층 증착 기계의 옵션이 될 수 있습니다.

제품
Silicon Wafer during Photolithography Process.

포지셔닝 센서

포토리소그래피에서 당사는 장치 기능에 필수적인 다양한 레이어가 정밀하게 정렬되도록 하는 정렬 및 오버레이 시스템용 광섬유 솔루션을 설계합니다.

제품
이 콘텐츠는 인공지능(AI)을 사용하여 번역되었습니다. AI 모델에는 오류가 있을 수 있으므로 법적 효력은 원본에만 있습니다. 자세한 내용은 면책 조항을 참조하십시오.
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