마이크로 전기 기계 시스템(MEMS)은 의료, 자동차 기술 및 소비자 가전과 같은 분야의 혁신을 이끄는 작은 발전소입니다. 섬세한 미세 부품은 까다로운 환경에서 안정적으로 작동하기 위해 정밀한 포장과 내구성 있는 보호가 필요합니다. SCHOTT는 MEMS 기술을 보호하도록 설계된 첨단 솔루션을 제공합니다.
MEMS 패키징
MEMS 구성품이 점점 작아지고 강력해짐에 따라, 동일하게 극미한 패키징 솔루션에 대한 필요성도 증가하고 있습니다. SCHOTT는 SCHOTT Primoceler가 제공하는 고정밀 TO PLUS® 및 유리 마이크로 접합과 같은 다양한 유리 소재 및 밀폐 패키징 구성품과 기술을 제공합니다. 이러한 신뢰할 수 있는 패키징 옵션은 장기간의 가스 기밀성을 유지하여 열 손상 및 기계적 노출로부터 MEMS를 보호합니다.
MEMS 기술이 적용된 전자력 구동방식 미러는 통신 및 지능형 안전 산업에서 널리 사용됩니다. 이 거울은 매우 섬세하여 수분 및 분진 입자로부터 보호되어야 하지만, 고성능 광학 인터페이스가 필요합니다. MEMpax®, D263® 및 BOROFLOAT®와 같은 초박형 유리는 미러 기판에 이상적이며, 당사의 밀폐형 유리창 뚜껑 및 마이크로전자 패키지는 MEMS 미러가 까다로운 환경에서 최적의 성능으로 작동할 수 있게 합니다.
SCHOTT는 MEMS 센서를 환경으로부터 보호하기 위한 독보적인 제품 포트폴리오와 센서 자체를 위한 다양한 기능성 구성 요소를 보유하고 있습니다. MEMpax® 및 BOROFLOAT®는 양극 접합에 이상적으로 적합한 평탄하고 고도로 균질한 붕규산 유리이며, FLEXINITY®는 구조화된 웨이퍼 및 유리 기판의 혁신적인 포트폴리오입니다.
