Illustration of light being focused on a component in lithography process

리소그래피

리소그래피는 LCD 마이크로칩 및 나노칩에서 고해상도 디스플레이의 LED 또는 OLED 구조에 이르는 광범위한 전자 부품을 제조하는 핵심적인 공정입니다. ZERODUR®과 같은 제품은 매우 낮은 열 팽창으로 제공되는 높은 정밀도로 인해 리소그래피에 이상적입니다.
SCHOTT ZERODUR® glass-ceramic provides precision for display lithography

디스플레이 리소그래피

평판 디스플레이(FPD) 리소그래피는 OLED 화면, 태블릿, PC, 스마트폰에 표시되는 복잡한 픽셀 디스플레이를 만드는 데 도움을 주며, SCHOTT는 이러한 디스플레이 생산에 중요한 역할을 합니다. 예를 들어 ZERODUR® 글라스세라믹은 일반적인 요소로서 온도 변화로 인한 기하학적 형상과 거리의 변화를 최소화해야 하는 첨단 기술 분야에서 탁월한 정밀성을 제공합니다.

SCHOTT ZERODUR® offers precise positioning for microchip production

IC 리소그래피

팽창 계수가 거의 제로에 가까운 SCHOTT ZERODUR®는 마이크로 칩 또는 나노칩에서 집적 회로를 생산하는 핵심 공정인 포토리소그래피 구조화에 이상적입니다. 여기서 웨이퍼의 정밀한 배치가 매우 중요하며 ZERODUR® 글라스세라믹은 수십 년 동안 업계에서 가장 선호하는 소재입니다.

조명 가이드

리소그래피 장비의 핵심 품질은 구성품의 신속하고 정밀하며 반복 가능한 위치설정에 좌우되며, SCHOTT 플렉시블 조명 가이드가 이상적입니다. 당사의 가이드는 고객의 요구사항에 정확히 부합하는 단일 맞춤형 섬유 번들 또는 소형 섬유 번들에서 선택된 포인트에서 빛을 직접 전달할 수 있습니다. 또한 운영에 영향을 미칠 수 있는 다양한 기계적 및 환경적 문제로부터 섬유를 보호하기 위해 다양한 유형의 피복에 특화되어 있습니다.