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제로두르® 저열팽창 글라스-세라믹

ZERODUR® 글라스세라믹은 50년 이상 SCHOTT의 가장 뛰어난 고유한 제품 중 하나였습니다. 열 팽창이 매우 낮기 때문에, 탁월한 정밀도가 요구되는 수많은 까다로운 첨단 기술 응용 분야에 필수적입니다.

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a piece of ZERODUR® low thermal expansion glass-ceramic
개요

    Blue magnifying glass icon, symbolizing search or zoom functionality. 먼 은하를 들여다보는 창문

    SCHOTT ZERODUR® 글라스세라믹은 세계 최대 망원경에서 선명한 이미지를 제공하여 우주의 신비를 밝히는 데 기여합니다.

    Info.svg 중력파 천문학의 미래를 열다

    유럽우주국(ESA)은 LISA Pathfinder 미션을 통해 최초의 우주 기반 중력파 관측소의 길을 열었습니다. 그 중심에는 ZERODUR® 글라스세라믹이 있습니다.

    Award & innovation ZERODUR®에 대한 전문가의 인사이트

    초저팽창 글라스세라믹, 광학 시스템 설계, 천문학 응용, 정밀 공학을 다루는 전용 ZERODUR® 교육 콘텐츠를 확인해보십시오.

    * 필수 필드

    SCHOTT는 문의에 대한 대응 목적으로만 귀하의 데이터를 사용합니다. 자세한 내용은 여기를 클릭하십시오.

    Hexagon-shaped ZERODUR® glass-ceramic by SCHOTT

    극한 조건에서의 높은 정확도

    ZERODUR®의 매우 낮은 열 팽창은 전체 체적 부피에 걸쳐 균질하여, 변화하는 온도 조건 하에서 정밀 위치 제어 또는 이미징을 포함하는 다양한 응용 분야에 이상적입니다.
    Disc of ZERODUR® glass-ceramic for telescope mirror

    소규모에서 대규모까지 뛰어난 기계가공성

    뛰어난 기계가공 특성으로 ZERODUR®는 작은 프리즘부터 미터 크기의 미러 블랭크까지 다양한 크기와 형태로 제조할 수 있습니다. 높은 수준의 경량과 굽힘 강도에 최적화된 표면은 SCHOTT 전문지식의 핵심 분야이며 이는 ZERODUR®를 우주 응용 분야에 이상적으로 만듭니다.
    Florian Kanal 박사, 비즈니스 개발
    50년이 넘는 기간 동안 ZERODUR®는 엔지니어들이 정밀도의 한계를 극복할 수 있도록 지원해 왔습니다. 귀하의 애플리케이션에 안정성, 신뢰성, 그리고 성능이 요구된다면, 당사는 그 도전에 대응할 준비가 되어 있습니다.
    기술 상세

    ZERODUR®

    수십 년 동안 ZERODUR® 글라스세라믹의 고유한 기술 특성으로 인해 매우 낮은 열 팽창 소재를 사용하는 다양한 응용 분야에 이상적인 제품이 되었습니다. 이는 또한 천문분야에서 초정밀 미러 기판의 업계 표준이기도 합니다.

    ZERODUR®의 CTE 공차

    기본적으로 ZERODUR®의 평균 열 팽창 계수(CTE)는 0°C~50°C의 온도 범위 내에서 측정됩니다. 다섯 가지 팽창 등급은 다음과 같이 구분됩니다.

    CTE 등급표 CTE (0°C; 50°C)*
    ZERODUR® 팽창 등급 2 0 ± 0.100 ・ 10-6/K
    ZERODUR® 팽창 등급 1 0 ± 0.050 ・ 10-6/K
    ZERODUR® 팽창 등급 0 0 ± 0.020 ・ 10-6/K
    ZERODUR® 팽창 등급 0 스페셜 0 ± 0.010 ・ 10-6/K
    ZERODUR® 팽창 등급 0 익스트림 0 ± 0.007 ・ 10-6/K
    ZERODUR® 맞춤 제작

    맞춤형 ± 0.020 ・ 10-6/K 
    (요청 시 ± 0.010 ・ 10-6/K) 
    적용 온도에 최적화

    *CTE(0°C; 50°C)는 0°C~50°C의 온도에서 선형 평균 열 팽창 계수를 설명합니다.

     

    최대 적용 온도는 600°C입니다.

    요청 시, ZERODUR®는 맞춤형 온도 범위에서 사용 가능합니다.

    SCHOTT는 고객의 개별 응용 분야에 최적화된 팽창 등급 0 또는 그 이상을 제공합니다.

     

    CTE 균질성

    균질성은 블랭크 전체에 걸쳐 균질하게 분포된 CTE 샘플을 측정하고, 측정된 최고 값과 최저 값 사이의 CTE 차이를 계산하여 평가됩니다.

    선형 팽창의 균질성은 다음 중량 등급에서 보장할 수 있습니다.

    CTE (0°C; 50°C) 균질성 공차

    • 최대 18톤: < 0.03 ・ 10-6/K
    • 최대 6톤: < 0.02 ・ 10-6/K
    • 최대 0.3톤: < 0.01 ・ 10-6/K

     

    측정된 CTE 균질성이 0.004 · 10-6/K인 1.5 m 직경 블랭크 내의 CTE 분포

    CTE distribution map within a 1.5 m diameter ZERODUR® blank

     

    ZERODUR® K20의 CTE 공차

    ZERODUR®의 고온 버전인 ZERODUR® K20은 더 높은 적용 온도를 견디도록 최적화되었습니다.

    ZERODUR® K20의 선형 열 팽창의 평균 계수

    • CTE (20°C; 700°C): 2.4・10-6/K
    • CTE (20°C; 300°C): 2.2・10-6/K
    • CTE (0°C; 50°C): 1.6 ・ 10-6/K

    최대 저용 온도는 850°C입니다.

    주문을 받을 때 품질을 명시하지 않으면 ZERODUR®이 표준 품질로 공급됩니다. 내부 품질에 대한 개별 사양은 요청에 따라 이루어질 수 있습니다.

     

    개재물

    결함 수준은 낮지만, ZERODUR®에서 발견되는 주요 개재물은 기포입니다. ZERODUR® 부품을 검사하는 동안 직경 0.3mm이 넘는 모든 개재물을 고려합니다. 개재물이 구형 형태가 아닌 경우, 평균 직경은 길이 및 너비의 평균치로 보고합니다. ZERODUR®는 부품의 치수에 따라 정의된 6개의 다른 개재물 품질 레벨로 제공됩니다.

    ZERODUR®의 개재물에 대한 품질 수준

    100cm3당 평균 개재물 수:

    표준 5.0
    등급 4 5.0 
    등급 3 4.0
    등급 2 3.0
    등급 1
    2.0
    등급 0
    1.0

     

    ZERODUR® 부품의 다양한 직경 또는 대각선에 대한 개별 개재물의 최대 직경(mm):

    임계 부피에서 < 500mm  < 2,000mm < 4,000mm 
    표준 1.4 2.0  3.0 
    등급 4 1.2  1.8  2.5 
    등급 3 1.0 1.6  2.0 
    등급 2 0.8 1.5  1.8 
    등급 1 0.6 1.2  1.6 
    등급 0 0.4 1.0  1.5 

     

    미임계 부피에서
    < 500mm < 2,000mm < 4,000mm
    표준 3.0  6.0 10.0
    등급 4 2.0 5.0  8.0 
    등급 3 1.5 4.0  6.0 
    등급 2 1.0 3.0  6.0 
    등급 1 0.8 3.0  6.0 
    등급 0 0.6 3.0  6.0 

    요청 시 개별 사양.

      

    벌크 응력

    ZERODUR®의 체적 응력 복굴절은 검사 방향의 두께에 따라 경로 차이로 기록됩니다. 디스크의 경우, 모서리 직경의 5%에서 축 방향으로 측정됩니다. 직사각형 플레이트의 경우, 플레이트 표면에 수직인 긴 면의 중간에서 측정을 수행합니다.

    ZERODUR®의 체적 응력 품질 수준

    직경 또는 대각선으로 된 부품의 경우  체적 응력 복굴절[nm/cm]:


    < 500mm < 2,000mm  < 4,000mm
    표준 6         12        15       
    등급 4 4 10 12
    요청 시 개별 사양

     

    맥리

    체적 응력 복굴절 외에도 국부적인 맥리에 의해 유발된 응력 복굴절은 부품 직경의 함수로 분류됩니다.

    직경 또는 대각선으로 된 부품의 경우 맥리[nm/striae]에 의해 유발되는 응력 복굴절:


    < 500mm < 2,000mm  < 4,000mm
    표준 60  60  60 
    등급 4  45 45  45 
    등급 3 30  30  30 
    등급 2  30  30 
    등급 1  30 

    ZERODUR®는 고객의 기술 도면 및 사양에 따라 복잡한 형상으로 가공됩니다. 당사의 애플리케이션 및 공정 엔지니어는 제품의 설계 단계 중에 고객의 개별 적용에 맞는 ZERODUR® 특성을 최대한 활용할 수 있도록 지원합니다. 또한, 요청에 따라 유한 요소 모델링과 특수 품질 요구사항도 제공합니다.

    5축 CNC 연삭기는 직경이 최대 4.25m인 ZERODUR® 부품을 정밀하게 제조할 수 있습니다. ZERODUR® 가공의 하이라이트는 엄격한 중량 요건을 가진 부품에 사용되는 포켓 높이 대비 리브 두께의 까다로운 종횡비를 연마한 가벼움에 있습니다.

    당사는 단면 및 양면 연마를 통해 최대 500mm 치수의 다양한 표면 품질 등급을 제공합니다. 부품의 크기에 따라 나노미터 이하의 거칠기를 달성할 수 있습니다.

    ZERODUR®는 코팅에 매우 좋은 기판 역할을 하므로 표준 알루미늄에서 300mm 미만의 부품에는 사용 가능한 복잡한 맞춤형 코팅에 이르기까지 여러 코팅이 가능합니다. 당사의 코팅 전문가들은 고객이 자신의 사양에 가장 적합한 코팅을 선택할 수 있도록 즉시 지원할 수 있습니다.

     

    치수 및 형상에 관해 제안된 CNC 연삭 공차

    치수 < 2,000 mm  공차 [mm] 더 엄격한 공차 [mm]*
    길이, 폭, 높이
    ± 0.3 ± 0.1
    직경 ± 0.3 ± 0.1
    각도 ± 5’ ± 1’
    평탄도** 0.1 - 0.2 0.1
    원통도** 0.1 0.1
    프로필** 0.2 0.1
    평행도** 0.1 - 0.2  0.1 
    위치 ** 0.1 0.1
    동심도** 0.1 0.1
    런아웃** 0.1 0.1
    * 더 엄격한 공차는 크기와 형상에 따라 다릅니다. 자유롭게 결합될 수 없습니다.

    ** ISO 1101 기준

     

    치수 ≤ 4,000mm
    공차[mm]
    더 엄격한 공차[mm]*
    길이, 폭, 높이 ± 0.4
    ± 0.2
    직경 ± 0.4 ± 0.2 
    각도 ± 5’ ± 1’
    평탄도** 0.2 0.1 
    원통도** 0.2 0.1
    프로필** 0.4 0.2
    평행도** 0.2 0.1
    위치 ** 0.2 0.1
    동심도** 0.2 0.1
    런아웃** 0.2 0.1
    * 더 엄격한 공차는 크기와 형상에 따라 다릅니다. 자유롭게 결합될 수 없습니다.

    ** ISO 1101 기준

    굽힘 응력 및 수명 계산

    탁월한 열 특성과 정밀도에 있어서 ZERODUR®는 첨단 기술 분야에서 선택받는 소재입니다. 또한, 이러한 응용 분야에서 종종 망원경 미러 홀더와 같이 지속적인 기계적 부하 또는 로켓 발사 시 단기적 부하에 견디는 것이 요구됩니다.

    ZERODUR®의 파손 응력을 정량화하기 위해 평가해야 할 핵심 요소는 표면 품질, 특히 마이크로 랙의 발생입니다. 일반적으로 10MPa 인장 응력 미만의 하중을 가할 때에는 ZERODUR®의 특수 파열 분석을 요구하지 않습니다.

    SCHOTT는 지상 ZERODUR® 샘플의 파손 이벤트에 대한 포괄적인 데이터를 통해 30~100MPa의 장기적인(10년) 기계적 부하를 견딜 수 있다는 것을 보여주었습니다. 이는 이전에 예측한 것보다 훨씬 더 높습니다. SCHOTT는 세 가지 파라미터의 와이블(Weibull) 분포를 사용하여, 개별적인 장기간의 기계적 부하에서 ZERODUR® 수명에 대해 논의합니다.

     

    일반적인 기계적 및 광학적 특성

    ZERODUR® ZERODUR® K20
    20°C에서 열전도도 λ [W/(m・K)] 1.46 1.63
    20°C에서 열 확산도 지수 a [10-6m2/s] 0.72 -
    20°C에서 열 용량 cp [J/(g · K)] 0.80 0.90
    20°C에서 영률 E [GPa]-평균 값 90.3 84.7
    포아송비(Poisson‘s ratio) 0.24 0.25
    밀도 ρ [g/cm3] 2.53 2.53
    누프 경도 HK 0.1/20(ISO9385) 620 620
    굴절률 nd 1.5424 -
    아베수 νd 56.1 -
    580nm/5mm 두께에서의 내부 투과율 Ti 0.95 -
    580nm/10mm 두께에서의 내부 투과율 Ti 0.9 -
    λ=589.3nm[10-6MPa-1]에서의 응력 광학 계수 K 3 -
    20°C에서 전기저항 ρ [Ω · cm] 2.6 · 1013 -
    Tk100 [°C], ρ에 대한 온도 = 108 [Ω · cm] 178 -

    실온에서 대부분의 산, 알칼리, 염분, 염료 용액은 ZERODUR® 표면에 잔류 흔적을 남기지 않습니다. 이는 고온에서 농축된 황산뿐만 아니라 플루오르화수소산에 의해 에칭될 수 있습니다. 또한 운모, 샤모트, MgO 및 SiO2와 같은 건축 자재는 ZERODUR®과 눈에 띄게 반응하지 않습니다(최대 600°C, 5시간). 반면 에나멜은 표면이 파괴되어 560°C 이상에서 반응합니다. 

    소재에 대한 우수한 내화학성에 기반한, 거울과 같은 코팅은 재현 가능한 방식으로 제거할 수 있습니다. 연마된 표면은 최적화된 프로토콜로 간단하게 세척되고 다시 코팅됩니다.

     

    일반적인 화학적 특성

      ZERODUR® ZERODUR® K20
    가수분해 저항성 등급 (ISO 719) HGB 1  -
    내산성 등급 (ISO 8424) 1.0
     -
    내알칼리성 등급 (ISO 10629) 1.0  -
    내후성 등급 1  -
    얼룩 저항성 등급 0  -
    20°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 1.6 · 106  -
    100°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 5.0 · 107  -
    200°C에서 헬륨 투과성 [원자/(cm · s · bar)] 7.2 · 108  -

    자주 묻는 질문(FAQs)

    ZERODUR®는 제로에 가까운 열 팽창과 탁월한 균질성을 결합하여, 시간과 온도가 변해도 정밀도가 유지되어야 하는 응용 분야에 이상적입니다.

    작은 온도 변화만으로도 재료가 팽창하거나 수축할 수 있습니다. ZERODUR®는 이러한 영향을 최소화하여 광학 및 측정 시스템이 변화하는 환경 조건에서도 정확성을 유지할 수 있도록 돕습니다.

    ZERODUR®는 우주 광학, 천체 망원경, 반도체 리소그래피, 계측 시스템, 링 레이저 자이로스코프 및 기타 고정밀 응용 분야에 사용됩니다.

    네, 맞습니다. 다양한 팽창 등급과 맞춤형 소재 변형을 통해 ZERODUR®는 특정 온도 범위와 성능 요구 사항에 맞게 최적화될 수 있습니다.

    네, 맞습니다. 고급 CNC 가공을 통해 복잡한 3D 형상, 경량화된 미러 구조, 드릴 가공, 그리고 응용 분야별 설계를 구현하면서도 탁월한 정밀도를 유지할 수 있습니다.

    설계에 따라 ZERODUR® 미러 기판은 우수한 강성과 치수 안정성을 유지하면서 최대 90%까지 경량화할 수 있습니다.

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    응용 분야

    ZERODUR®

    정밀도와 균질성에 측면에서 ZERODUR® 저열팽창 글라스세라믹이 다양한 첨단 기술 응용 분야에서 선택받는 소재입니다. 네비게이션 시스템에서 중요한 역할을 수행하는 것에서부터 마이크로칩 성능 향상에 이르기까지 ZERODUR®는 각각의 도전 과제를 통해 끊임없이 진화합니다.
    The ESO’s ELT (Extremely Large Telescope) observatory on the Cerro Armazones mountain in Chile

    천문분야의 수준의 향상

    ZERODUR®는 모놀리식 및 분할 망원경의 망원경 미러 기판에 사용됩니다. 낮은 열팽창은 물론 (환경 변화로 인한 온도의 변동으로 망원부 이미지를 난독화시킬 수 있음) ZERODUR®의 용이한 기계가공성 및 연마 속성으로 인해 적응형 광학 장치에 이상적입니다. 이것이 칠레의 초대형 망원경(ELT)에서 40m 분할 일차 미러를 생산하기 위해 사용된 이유입니다.

    Satellite orbiting a red planet

    세계 최고의 소재

    천문 및 지구 관찰과 같은 우주 응용에는 가볍고 튼튼한 소재가 필요합니다. ZERODUR® 경량 미러 기판은 위성 발사 시 강한 힘을 견뎌내며, Hubble 및 Chandra와 같은 위성의 일부로 우리의 터전인 지구의 궤도를 따라 돕니다. 또한 방사선 저항성과 파손을 예측하는 SCHOTT의 능력으로 ZERODUR®는 오랜 스페이스 미션에 이상적입니다.

    Precision probe sensor on industrial metalworking equipment

    엔지니어링 마스터피스 지원

    거리 및 기하학적 형태에 대한 매우 정밀한 측정 및 분석은 ZERODUR®가  다양한 산업 제조 공정에 가장 최적화되어 있는, 온도 변화에 대한 저항성을 위한 응용 분야입니다. ZERODUR로 제조된 스케일 및 게이지를 통해, 예를 들어 CNC 밀링 머신 및 좌표 측정 장비의 축을 올바르게 배치하기 위해, 최대 몇 미터까지 선형 길이 측정을 위한 인코더에서 최소 거리를 정밀하게 측정할 수 있습니다. 로봇 조인트 내 각도를 정밀하게 측정할 수 있는 회전 인코더로 자동화 및 제조용 로봇을 안정적으로 배치할 수 있습니다.

    Interior of an aircraft cabin with illuminated controls and displays

    대기 중에서의 더 나은 탐색

    특수 레이저 공진기, 미러 블랭크 및 ZERODUR®로 만든 작은 프리즘은 항공기에 사용되는 관성 항법 장치(INS)의 핵심인 링 레이저 자이로스코프(RLG)의 일부입니다. 이러한 맞춤형 구성품은 견고성, 긴 수명 및 낮은 가스 투과성 덕분에 고정밀 참조 시스템이 가능합니다.

    M-101316

    나노 스케일에서의 정밀도

    집적 회로(IC) 시스템의 소형화는 매우 정밀한 리소그래피 및 웨이퍼 포지셔닝을 필요로 하며, ZERODUR®의 매우 낮은 열팽창은 이상적인 선택입니다. 또한, OLED 및 LCD 디스플레이에 대한 고해상도 픽셀 패턴을 생성하기 위한 리소그래피 광학 장치는 이 속성을 활용합니다.

    Markus Kissler-Patig, 유럽남방천문대 선임천문학자
    ZERODUR® 글라스세라믹과 같은 소재가 존재하지 않았다면 ELT와 같은 프로젝트는 불가능했을 것입니다.
    제품군

    ZERODUR®

    SCHOTT ZERODUR®는 고객의 요구사항에 따라 전문 응용 분야에 맞게 최적화할 수 있습니다. 또한 ZERODUR® K20 및 ZERODUR® TAILORED를 포함하여 다양한 제품을 제조합니다. 

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    Seong-won Kim

    Seong-won Kim

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    2
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