SCHOTT FLEXINITY^® - 孔開け加工薄板ガラス製品群

主な加工能力基準                                                                                                                                       

最小孔開け半径	100 µm
最小ピッチ距離	300 µm
ウエハー端部との最小距離	≥ 3 mm

仕様	数値
厚み（硝種による）	0.1 mm – 3.3 mm
ウエハーサイズ	最大600mm（円形および方形）
孔開け特性
- 最小孔開け半径	≥ 100 μm
- 孔開けサイズ公差	< 20 μm (± 10 μm)
周辺部非加工領域	≥ 3 mm
最小残存幅	> 300 µm
孔の位置公差	< 20 μm (± 10 μm)
レイアウト	外周3mmを除く任意の位置に様々な形状の貫通孔を配置が可能

ご要望によって特殊な加工も可能です。