SCHOTT FLEXINITY™ - 孔開け加工薄板ガラス製品群

ショットの革新的な孔開け加工済みウエハーおよび薄板ガラス製品群

製品情報

ショットの最新のガラスウエハー加工製品、SCHOTT FLEXINITY™をご紹介します。FLEXINITY™は革新的なウエハー加工技術を採用した、高精度な汎用孔開きガラス基板の製品群です。

ショットの板ガラス製品のほとんどが、様々な厚さでFLEXINITY™で加工可能です。

D 263^® bio Substrate Glass l D 263^® T eco Thin Glass l MEMpax^® l AF 32^® eco l BOROFLOAT^® 33

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特長

位置公差 +/- 25 µm
寸法公差 +/- 25 µm
孔半径 >150 µm
100 µm以上の厚みに対応

最小孔開け半径	150 µm
最小ピッチ距離	300 µm
ウエハー端部との最小距離	5 mm

センサー、MEMS

高品質で耐久性の高い圧力センサーには、非常に特殊な性質をもった素材が必要です。ガラスとシリコンは、ある重要な性質が同じです。それは、熱膨張率です。陽極接合で接合する際に、ガラスとシリコンは温度変化に対して同じように反応し、接合面で起こる応力を最小化します。さらに、接合の強度は表面の品質に依存するため、表面粗さは非常に低くなければなりません。

デバイス、モジュール、センサーは、より薄く、より軽量になる傾向にあるので、滑らかにフィットさせるためには、ガラス基板は可能な限り薄くなければなりません。

ファイヤーポリッシュの表面品質をもつショットの孔開きウエハーは、強度な接合を可能にし、ヒトの髪の毛よりも薄いウエハーで提供されます。超小型センサーに最適の素材です。

SCHOTT FLEXINITY TM for microfluidic applications

マイクロ流体

D263^® bio は加工しやすく化学強化することができるため、妥協を許さない光学品質と非常に高い化学耐性を必要とする用途には理想的な素材です。光学診断、マイクロ流体コンポーネントおよび民生用、産業用機器向け基板としてお使いいただけます。

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技術詳細

下記の、サンプリング工程による（仮）特性をご参照ください。

仕様	数値
厚み（硝種による）	0.1 mm – 3.8 mm
ウエハーサイズ	4"-12" （円形および方形）
孔開け特性
- 最小孔開け半径	150 µm
- 孔開けサイズ公差	+/- 25 µm
周辺部非加工領域	≥ 5 mm
最小残存幅	> 300 µm
孔の位置公差	< +/- 25 µm
レイアウト	お客様の仕様および加工特性による
チッピング	ダメージ部は孔エッジより < 10 µm