SCHOTT FLEXINITY^® - 孔開け加工薄板ガラス製品群

主な加工能力基準                                                                                                                                       

最小孔開け半径	150 µm
最小ピッチ距離	300 µm
ウエハー端部との最小距離	5 mm

仕様	数値
厚み（硝種による）	0.1 mm – 3.8 mm
ウエハーサイズ	4"-12" （円形および方形）
孔開け特性
- 最小孔開け半径	150 µm
- 孔開けサイズ公差	+/- 25 µm
周辺部非加工領域	≥ 5 mm
最小残存幅	> 300 µm
孔の位置公差	< +/- 25 µm
レイアウト	お客様の仕様および加工特性による

ご要望によって特殊な加工も可能です。