MEMpax®

Uma variedade única de propriedades extraordinárias faz do MEMpax® um produto indispensável para diversas aplicações. A durabilidade no processamento, a capacidade de colagem em temperaturas elevadas, a grande variedade de tamanhos e sua disponibilidade em incomparáveis espessuras são destaques especiais do MEMpax®.

Elevada durabilidade em espessuras extremamente finas

Excelente resistência química

Ao lado do revolucionário BOROFLOAT® da SCHOTT, o MEMpax® oferece a mais elevada durabilidade química, resistindo às condições mais adversas durante o processamento e a aplicação. A composição do vidro confere isolamento elétrico de alta qualidade ao MEMpax®.

Desenvolvido para ligação

O MEMpax® tem um coeficiente de expansão térmica (CTE) comparável ao de um wafer de silício, permitindo baixíssimas tensões na ligação anódica do vidro com os wafers de silício. As irregularidades extremamente baixas de sua superfície (Ra inferior a 0,5 nm) facilitam ainda mais esse processo.

Comprimentos de onda de fácil tratamento

Semelhante ao BOROFLOAT®, o MEMpax® apresenta alta transmissão na faixa de comprimento de onda visível, incluindo na profundidade da faixa UV. Isso torna o material extremamente adequado para descolagem por UV em processos de semicondutores.

Formas, tamanhos e espessuras que atendem às suas necessidades

A SCHOTT se orgulha de trabalhar ao lado dos clientes para atender às suas necessidades da forma mais específica possível, e nossos wafers de vidro não são exceção. Disponível em formatos personalizados, além das variedades circulares convencionais, a faixa de tamanhos varia de 2 a 12 polegadas, com espessuras de 0,07 a 0,55 mm.

Propriedades de material

 

1. Propriedades ópticas

Propriedades ópticas Valor
Índice de refração* ng 1,4803
Índice de refração* nF' 1,4768
Índice de refração* nF 1,4765
Índice de refração* ne 1,4732
Índice de refração* nd 1,4715
Índice de refração* nD 1,4714
Índice de refração* nC 1,4696
Índice de refração* nC 1,4693
Valor Abbe νe 65,4
Constante fotoelástica em (nm/cm)/Mpa 39,8
 

* Índices de refração: Pré-tratamento de amostras.
Condição conforme fornecido [“conforme desenhado”] 

 

2. Propriedades térmicas

Propriedades térmicas gerais Unidade Valor
CTE (Coeficiente de expansão térmica) α  10-6·K-1  (20 °C; 300 °C)  3,26 
Capacidade térmica específica média cp em J/(g·K)(20 °C; 100 °C) 0,82
Temperatura de transformação Tg em °C 532

 

Viscosidades Viscosidade lg ŋ em dPas Temperatura em °C
Ponto de tensão 14,5 528
Ponto de recozimento 13,0 570
Ponto de amolecimento 7,6 831

 

3. Propriedades mecânicas

Propriedades mecânicas
Unidade Valor
Densidade ρ em g/cm³ 2,22
Módulo de Young E em kN/mm² 62,7
Coeficiente de Poisson µ 0,196
Módulo de torção G em kN/mm² 26,2
Dureza Knoop HK 0,1/20 430
Dureza Vickers HV 0,2/25 510

 

Endurecimento químico (para espessura = 0,2 mm)

Unidade
Valor
Temperatura ϑ em °C 430
Tempo t em h 4
Tensão compressiva (CS) em MPa 120
Profundidade de camada (DoL) em μm 8

 

4. Propriedades químicas

Resistência hidrolítica (de acordo com a DIN ISO 719) Valor
Classe HGB 1
Equivalente de álcalis por grama de grãos de vidro em μg/g < 31

 

Resistência a ácidos (de acordo com a DIN 12116) Valor
Classe S 1
Perda de peso em meia superfície após 6 horas em mg/dm² 0,16

 

Resistência a álcalis (de acordo com a DIN ISO 695) Valor
Classe A 2
Perda de peso da superfície após 3 horas em mg/dm² 132

 

5. Propriedades elétricas

Constante dielétrica εr (a ϑ = 25 °C) Valor
a 1 MHz 4,8
a 1 GHz 4,4
a 2 GHz 4,5
a 5 GHz 4,4
a 24 GHz 4,4
a 77 GHz  4,4 

 

Fator de dissipação tan δ (a ϑ = 25 °C)
Valor
a 1 MHz 38 · 10-4
a 1 GHz 58 · 10-4
a 2 GHz 62 · 10-4
a 5 GHz 73 · 10-4
a 24 GHz 100 · 10-4
a 77 GHz  150 · 10-4 

 

Resistividade de volume elétrico ρD em Ω·cm de corrente contínua
1,18 ·108 ( ϑ = 250 °C)
4,24 ·106 (ϑ = 350 °C)

 

6. Valores de transmitância

Transmitância espectral (250 - 3150 nm)

O gráfico apresenta a transmitância espectral do vidro de borossilicato MEMPax® (250-3150 nm)

 

Transmitância espectral (250 - 500 nm)

O gráfico apresenta a transmitância espectral do vidro de borossilicato MEMPax® (250-500 nm)

 

Comprimento de onda em nm na espessura de 0,2 mm: τ (λ) em %
254 28
380 92,4
632,8 92,8
1064 92,7

 

Comprimento de onda da borda λc (τ  = 0,46) com espessura em mm Comprimento de onda em nm
0,2 269 
0,3  279 
0,5  283 
0,7  288 

 

Transmitância luminosa na espessura em mm τvD65em %
0,2 92,8
0,5  92,8 

 

Produtos MEMpax®

Linha de produtos do MEMpax® da SCHOTT:

  • Wafers e substratos sem polimento
  • FLEXINITY®

Para saber mais, consulte os produtos relacionados na página de apresentação.

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