Aplicações do MEMpax®
A versatilidade do vidro de borossilicato MEMpax® se origina de seu processo de extração inferior (down-draw), que resulta em superfícies lisas puras. A combinação de planicidade baixa com alta homogeneidade, além de um excelente portfólio de propriedades de materiais, permite que o MEMpax® atenda a uma ampla variedade de aplicações em eletrônica e biotecnologia.
Sensores de pressão
O MEMpax® é ideal para sensores de pressão. Disponível como wafer sem polimento e estruturado, ele atua como base do die MEMS funcional. São bastante utilizados nos setores automotivo, indústria, transporte e saúde, em que a SCHOTT tem uma presença de longa data e confiança.
Espelhos MEMS
O MEMpax® é bastante usado como uma janela em várias aplicações de espelhos MEMS graças às suas propriedades térmicas, ópticas, cosméticas e geométricas exclusivas. A semelhança térmica com o silício possibilita a ligação anódica que permite encapsulamentos herméticos, enquanto as espessuras ultrafinas oferecem fatores de forma menores e projetos de aplicação óptica aprimorados. Além disso, a superfície pura pode ser combinada com revestimentos antirreflexos eficientes.
Encapsulamento RF IC
Apresentando a constante dielétrica mais baixa entre todos os vidros finos do mercado, o MEMpax® da SCHOTT é ideal para aplicações de frequências muito altas (superiores a 30 GHz). Com baixíssimas irregularidades e nível mínimo de TTV, é a escolha perfeita para circuitos integrados de radiofrequência.
Diagnóstico e biotecnologia
A sensibilidade ótima é fundamental nas áreas de diagnóstico e biotecnologia, e a transmissão óptica elevada e a baixa autofluorescência do MEMpax® da SCHOTT o tornam a solução ideal de uso para diversos dispositivos e equipamentos. Substratos de biochip, microfluidos ou sistemas “Lab on a chip” podem aproveitar a baixa relação sinal-ruído e a excelente qualidade de superfície do MEMpax®.
