MEMpax®

Uma variedade única de propriedades extraordinárias faz do MEMpax® um produto indispensável para diversas aplicações. A durabilidade no processamento, a capacidade de colagem em temperaturas elevadas, a grande variedade de tamanhos e sua disponibilidade em incomparáveis espessuras são destaques especiais do MEMpax®.

Elevada durabilidade em espessuras extremamente finas

Excelente resistência química

Ao lado do revolucionário BOROFLOAT® da SCHOTT, o MEMpax® oferece a mais elevada durabilidade química, resistindo às condições mais adversas durante o processamento e a aplicação. A composição do vidro confere isolamento elétrico de alta qualidade ao MEMpax®.

Desenvolvido para ligação

O MEMpax® tem um coeficiente de expansão térmica (CTE) comparável ao de um wafer de silício, permitindo baixíssimas tensões na ligação anódica do vidro com os wafers de silício. As irregularidades extremamente baixas de sua superfície (Ra inferior a 0,5 nm) facilitam ainda mais esse processo.

Comprimentos de onda de fácil tratamento

Semelhante ao BOROFLOAT®, o MEMpax® apresenta alta transmissão na faixa de comprimento de onda visível, incluindo na profundidade da faixa UV. Isso torna o material extremamente adequado para descolagem por UV em processos de semicondutores.

Formas, tamanhos e espessuras que atendem às suas necessidades

A SCHOTT se orgulha de trabalhar ao lado dos clientes para atender às suas necessidades da forma mais específica possível, e nossos wafers de vidro não são exceção. Disponível em formatos personalizados, além das variedades circulares convencionais, a faixa de tamanhos varia de 2 a 12 polegadas, com espessuras de 0,07 a 0,55 mm.

Propriedades do material

Propriedades ópticas 

O gráfico apresenta as propriedades ópticas do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Propriedades térmicas

O gráfico apresenta as propriedades térmicas do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Propriedades mecânicas

O gráfico apresenta as propriedades mecânicas do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Valores de transmitância

O gráfico apresenta os valores de transmitância do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Transmitância espectral (250 - 3150 nm)

O gráfico apresenta a transmitância espectral do vidro de borossilicato MEMPax® (250-3150 nm)

 

Transmitância espectral (250 - 500 nm)

O gráfico apresenta a transmitância espectral do vidro de borossilicato MEMPax® (250-500 nm)

 

Propriedades elétricas 

O gráfico apresenta as propriedades elétricas do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Propriedades químicas 

O gráfico apresenta as propriedades químicas do vidro de borossilicato MEMPax®

 

Produtos MEMpax®

Linha de produtos do MEMpax® da SCHOTT:

  • Wafers e substratos sem polimento
  • FLEXINITY®

Para saber mais, consulte os produtos relacionados na página de apresentação.

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