MEMpax®
O MEMpax® é um vidro de borossilicato extremamente fino e homogêneo de grande versatilidade. Com características químicas e físicas semelhantes ao mundialmente reconhecido BOROFLOAT® da SCHOTT, ele oferece novas áreas de aplicação graças à sua menor espessura e à superfície polida a fogo.
Recursos Slimline e apelo de superfície
O MEMpax® da SCHOTT amplia o portfólio de espessura do aclamado vidro de borossilicato BOROFLOAT® ao oferecer espessuras extremamente finas, entre 0,07 e 0,55 mm. Ele também apresenta como destaque a superfície cristalina polida a fogo, que elimina a necessidade de esmerilhação e polimento e permite o seu emprego em qualquer aplicação que exija vidros de borossilicato extremamente finos, como MEMS e aplicações de biotecnologia.
Versatilidade incrível
A combinação de espessuras exclusivas e propriedades excepcionais aumenta o potencial de uso do MEMpax®. O coeficiente de expansão térmica (CTE) idêntico ao do wafer de silício torna o MEMpax® ideal para aplicações de wafer em processos anódicos e de colagem. A baixa autofluorescência, elevada transmissão de UV e propriedades eletricamente não condutoras aumentam ainda mais seu potencial de utilização.
Portfólio exclusivo de propriedades
O MEMpax® permite a combinação de diversas formas e tamanhos de espessuras incrivelmente finas, enquanto a elevada resistência química confere a esse vidro de elevada pureza uma enorme resistência durante o processamento. Seu CTE torna-o altamente compatível com o silício em processos de colagem, sua alta transmissão (UV) permite a rápida descolagem, e mantém a condutividade não elétrica mesmo em temperaturas elevadas.
Excelente resistência química
Possui a mais elevada durabilidade química, capaz de resistir às mais adversas condições durante o processamento e aplicação.
CTE idêntico ao do silício
O CTE semelhante ao dos wafers de silício permite baixíssimas tensões na ligação anódica ao silício ou metal, mesmo em temperaturas elevadas.
Alta transmissão óptica
Com alta transmissão no espectro visível, o MEMpax® é indicado para descolamento por UV em processos de semicondutores.
Baixa autofluorescência
A baixa autofluorescência oferece uma variedade de aplicações em diagnósticos.
Propriedades dielétricas
Propriedades dielétricas baixas, de até 77 GHz, fazem do MEMpax® o produto ideal para aplicações de frequência ultra-alta.
TTV e tolerância de espessura
O MEMpax® atende a tolerâncias de espessura e à baixa variação da espessura total (TTV) exigidas por aplicações MEMS.
