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Microscopic pressure sensor for MEMS package

Sensores

Os sensores desempenham um papel crucial na garantia de segurança, confiabilidade e eficiência em uma variedade de aplicações, desde sensores de pressão até sensores de posicionamento. Essas aplicações exigem materiais que possam oferecer um desempenho excepcional em ambientes agressivos. Com décadas de experiência em embalagens eletrônicas, a SCHOTT é perfeitamente adequada para atender às rigorosas necessidades das aplicações de sensores.
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

Sensores de pressão

Os sensores de pressão são amplamente utilizados na aplicação de semicondutores. Eles monitoram e regulam as pressões em câmaras de vácuo (por exemplo, durante a gravação ou CVD), sistemas de fornecimento de gás e linhas de bombeamento para garantir condições precisas para o processamento do wafer. Além disso, eles detectam vazamentos e mantêm a estabilidade em ferramentas como scanners de litografia e gravadores de plasma.

Produtos
Industrial machine actuators

Atuadores

Na fabricação de semicondutores, os atuadores permitem o controle de movimento de precisão, posicionamento e automação em vários processos, como manuseio de wafers, litografia, gravação e inspeção. A embalagem hermética protege os atuadores piezoelétricos em controladores de fluxo de massa contra gases corrosivos, umidade e poeira, garantindo precisão de longo prazo na fabricação de semicondutores. A vedação hermética da SCHOTT evita danos, reduz a deriva e prolonga a vida útil dos atuadores, permitindo uma produção confiável e de alto rendimento em ambientes ultralimpos.

Produtos
Technician repairing engine component

Sensores de gás

Os sensores de gás são importantes para garantir rendimento, segurança e conformidade na fabricação de semicondutores. Por exemplo, sensores de gás podem detectar gases tóxicos e inflamáveis do processo de fabricação e verificar a qualidade do ar em salas limpas. Os sensores de gás com SCHOTT embalagens herméticas e passagem de alimentação melhoraram o desempenho e a confiabilidade.

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A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

Sensor de temperatura

Para a fabricação de semicondutores, o controle e o monitoramento precisos da temperatura são fundamentais para garantir dispositivos semicondutores confiáveis e de alta qualidade. A detecção de temperatura por fibra óptica fornece leituras remotas de temperatura altamente precisas neste ambiente desafiador. Por exemplo, o sensor de temperatura por fibra óptica pode ser uma opção em máquinas de deposição de camadas, onde o monitoramento de temperatura é crucial para garantir que as camadas depositadas atendam às especificações.

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Silicon Wafer during Photolithography Process.

Sensor de posicionamento

Em fotolitografia, projetamos soluções de fibra óptica para sistemas de alinhamento e sobreposição que garantem que várias camadas estejam alinhadas com precisão, o que é essencial para a funcionalidade do dispositivo.

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