MEMpax®
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MEMpax®

MEMpax®는 특별한 특성을 지닌 고유한 제품으로 다양한 응용 분야에 적합합니다. 가공에 필요한 내구성, 고온 접합에 대한 적합성, 다양한 크기 및 탁월한 낮은 두께 편차 등으로 MEMpax®의 가용성을 더욱 돋보이게 합니다.

매우 낮은 두께에서 높은 내구성

뛰어난 내화학성

SCHOTT의 획기적인 BOROFLOAT®와 마찬가지로 MEMpax®는 최고의 화학적 내구성을 제공하여 가공 및 응용 분야의 가장 열악한 조건에서도 견딜 수 있습니다. MEMpax® 유리의 조성은 고품질의 전기 절연체이기도 합니다.

접합용

MEMpax®는 실리콘 웨이퍼에 적합한 열 팽창 계수(CTE)를 갖고 있어 실리콘 웨이퍼에 대한 유리의 양극 접합에서 매우 낮은 응력을 보장합니다. 표면 조도(일반적으로 Ra ≤ 0.5 nm)가 매우 낮아 이 공정을 더욱 용이하게 합니다.

작용할 수 있는 파장

MEMpax®는 BOROFLOAT®와 유사한 UV 범위 깊이를 포함하여 가시 파장 범위에서 높은 투과율을 나타냅니다. 따라서 반도체 공정에서 UV 디본딩에 매우 적합한 소재입니다.

적합한 형태, 크기 및 두께

SCHOTT는 고객의 요구에 최대한 구체적으로 부응하기 위해 고객과 협력하는 데 자부심을 갖고 있으며, 당사의 유리 웨이퍼를 통해 이를 실현합니다. 맞춤형 형태 뿐만 아니라 표준형 원형 모델로도 사용할 수 있는 2-12"의 다양한 크기와 0.07-0.55mm 두께의 제품군이 있습니다.
소재 특성
MEMpax® 제품

소재 특성

 

1. 광학적 특성

광학 특성 값
굴절률* ng 1.4803
굴절률* nF' 1.4768
굴절률* nF 1.4765
굴절률* ne 1.4732
굴절률* nd 1.4715
굴절률* nD 1.4714
굴절률* nC' 1.4696
굴절률* nC 1.4693
Abbe 값 νe 65.4
광탄성 상수 (nm/cm)/Mpa 39.8
 

* 굴절률: 샘플 전처리.
공급시 상태 ["그림에 표시"] 

 

2. 열 특성

일반 열 특성 유닛 값
CTE(열 팽창 계수) α  10-6·K-1 (20 °C; 300 °C)  3.26 
평균 비열 용량 cp J/(g·K)(20 °C; 100 °C) 0.82
유리전이 온도 Tg °C 단위 532

 

점도 점도 lg ŋ (dPas) 온도 (°C)
변형점 14.5 528
서냉점 13.0 570
연화점 7.6 831

 

3. 기계적 특성

기계적 특성
 유닛 값
밀도 ρ g/cm³ 단위 2.22
영률 E kN/mm² 단위 62.7
푸아송비 µ 0.196
비틀림 계수 G kN/mm² 단위 26.2
누프 경도 HK 0.1/20 430
비커스 경도 HV 0.2/25 510

 

화학적 강화 (두께 = 0.2 mm)

유닛
 값
온도 ϑ (°C) 430
시간 t (h) 4
압축 응력 (CS) (MPa) 120
층 깊이 (DoL) (μm) 8

 

4. 화학적 특성

가수분해 내성 (DIN ISO 719 기준) 값
등급 HGB 1
유리 입자 g당 알칼리의 당량 (μg/g) < 31

 

내산성 (DIN 12116 기준) 값
등급 S 1
6시간 후의 하프 표면 중량 손실 (mg/dm²) 0.16

 

내알칼리성 (DIN ISO 695 기준) 값
등급 A 2
3시간 후의 표면 중량 손실 (mg/dm²) 132

 

5. 전기적 특성

유전율 εr (ϑ = 25 °C 기준) 값
1 MHz 기준 4.8
1 GHz 기준 4.4
2 GHz 기준 4.5
5 GHz 기준 4.4
24 GHz 기준 4.4
77 GHz 기준  4.4 

 

소산 계수 tan δ (ϑ = 25 °C 기준)
 값
1 MHz 기준 38 · 10-4
1 GHz 기준 58 · 10-4
2 GHz 기준 62 · 10-4
5 GHz 기준 73 · 10-4
24 GHz 기준 100 · 10-4
77 GHz 기준  150 · 10-4 

 

전기적 부피 저항 ρD (Ω·cm) 직류
1.18 ·108 ( ϑ = 250 °C)
4.24 ·106 (ϑ = 350 °C)

 

6. 투과율 값

스펙트럼 투과율(250 ~3150 nm)

MEMPax® 붕규산 유리(250 ~ 350 nm)의 스펙트럼 투과율을 나타내는 차트

 

스펙트럼 투과율 (250 - 500 nm)

MEMPax® 붕규산 유리(250 ~ 500 nm)의 스펙트럼 투과율을 나타내는 차트

 

두께 0.2 mm에서 파장 (nm): τ (λ) (%)
254 28
380 92.4
632.8 92.8
1064 92.7

 

에지 파장 λc (τ = 0.46) mm 두께 단위 파장 (nm)
0.2 269 
0.3  279 
0.5  283 
0.7  288 

 

mm 두께의 광 투과율 τvD65 (%)
0.2 92.8
0.5  92.8 

 

MEMpax® 제품

SCHOTT MEMpax® 제품은 다음과 같습니다.

  • 비연마 기판 및 웨이퍼
  • FLEXINITY®

자세한 정보는 개요 페이지에서 관련 제품을 참조하십시오.

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