FOTURAN® II

FOTURAN®은 이미 여러 선도적인 과학, 엔지니어링 및 기술 브랜드들 사이에서 30년 이상 뛰어난 다기능성을 제공해 온 믿을 수 있는 광구조화 글라스세라믹으로 알려져 있습니다. SCHOTT이 개발한 FOTURAN® II는 감광성 유리 웨이퍼에 보다 높은 표준을 제공하면서 포뮬러는 동일한 소재입니다.

균질성, 다기능성 및 정밀성

높은 광 투과율, 우수한 감광성

광학 유리 생산에 사용되는 용융 방식과 유사한 공정에서 융용을 지속하여 FOTURAN® II의 뛰어난 균일성을 달성합니다. 또한 350nm~2,700nm 사이의(1mm 두께의 기판 기준) 90%를 넘는 투과율을 보여줍니다.

고객의 요구에 맞춘 두께 및 표면 품질

FOTURAN® II는 낮은 TTV와 거칠기, 결함 수준은 물론 조정 가능한 크기 및 형태를 제공합니다. 또한 고객의 특정한 요구 사항에 따라 다양한 두께와 맞춤형 사양을 제작할 수 있습니다.

표준 장비를 사용한 간단한 구조화

FOTURAN® II는 포토레지스트 없이 UV 노출, 열처리 및 습식 에칭과 같은 반도체 표준 절차를 통해 웨이퍼 구조를 간단하게 생산할 수 있습니다. 각 단계에 맞는 넓은 공정 윈도우를 사용하면 표준 반도체 장비와 함께 사용할 수 있는 호환 물질입니다.

구조 허용 오차 안의 높은 정밀도 및 균질성

FOTURAN® II 웨이퍼 유리에 적용된 여러 구조의 장점 중 하나는 감광성이 균일하다는 것입니다. SCHOTT이 수년에 걸쳐 반도체 제조 공정 중 리소그래피 공정과 유사하게 개발해 온 첨단 기술 프로세스를 사용하기 때문입니다.

사용 가능한 제품

SCHOTT FOTURAN® II 제품:

  • 연마 처리된 기판과 웨이퍼

 

자세한 정보는 개요 페이지에서 관련 제품을 참조하십시오.


구조화 공정 및 특성

작동 원리

FOTURAN® II는 광구조화된 글라스세라믹으로 세 단계로 구조화됩니다. 네 번째 단계인 세라믹화는 선택사항입니다

FOTURAN® II 구조화 공정의 4단계 그림

1) 결정화 중 다른 온도 프로필로 다른 결정 구조를 일으킵니다

 

표준 광구조화 공정

FOTURAN® II 구조화는 UV 노출, 열처리 및 에칭으로 구성되어 있습니다. 이후의 세라믹화는 선택 사항입니다.

FOTURAN® II 구조화의 4단계를 보여주는 다이어그램

1) 0.5mm 두께의 기판의 경우. 다른 두께의 매개변수는 다를 수 있습니다

2) 최적의 이론적 노출 파장은 312nm입니다

 

미공정 FOTURAN® II의 투과율 곡선

미가공 FOTURAN® II의 최고 자외선 감도는 290&330nm 사이이며 투과율 기울기의 변화로 확인 가능합니다

SCHOTT FOTURAN® II 유리의 투과율 곡선을 보여주는 그래프

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