MEMpax®

Sa gamme unique de propriétés remarquables fait de MEMpax® un produit de choix pour un large éventail d’applications. La durabilité lors du traitement, l'aptitude au collage à haute température, une gamme étendue de tailles et sa disponibilité dans des épaisseurs faibles inégalées font du verre MEMpax® un matériau se démarquant véritablement.

Une grande durabilité dans des épaisseurs extrêmement faibles

Résistance chimique exceptionnelle

Comme le très novateur BOROFLOAT® de SCHOTT, le MEMpax® offre la plus grande durabilité chimique, ce qui lui permet de résister aux conditions les plus agressives pendant le traitement et l’application. En raison de sa composition en verre, le MEMpax® est également un isolant électrique de haute qualité.

Conçu pour le bonding

Le MEMpax® présente un coefficient de dilatation thermique (CTE) qui correspond à celui d'un wafer de silicium, ce qui permet d'obtenir des contraintes très faibles lors de liaison anodique du verre sur les wafers en silicium. La rugosité extrêmement faible de sa surface (généralement Ra ≤ 0,5 nm) facilite encore plus ce processus.

Les longueurs d’ondes avec lesquelles vous pouvez travailler

Comme le verre BOROFLOAT®, le MEMpax® présente une transmission élevée dans la gamme de longueurs d’ondes visibles, y compris dans la gamme UV. Le matériau convient donc parfaitement au décollement par UV dans les procédés liés aux semi-conducteurs.

Formes, tailles et épaisseurs adaptées

Le Groupe SCHOTT est fier de pouvoir collaborer avec ses clients afin de répondre au mieux à leurs besoins, et nos wafers en verre ne font pas exception. Disponibles dans des formes personnalisées ainsi que dans des formats ronds standard, les tailles varient entre 2 et 12 ", avec des épaisseurs allant de 0,07 à 0,55 mm.

Propriétés des matériaux

Propriétés optiques 

Diagramme présentant les propriétés optiques du verre borosilicate MEMPax®

 

Propriétés thermiques

Diagramme présentant les propriétés thermiques du verre borosilicate MEMPax®

 

Propriétés mécaniques

Diagramme présentant les propriétés mécaniques du verre borosilicate MEMPax®

 

Valeurs de transmission

Diagramme présentant les valeurs de transmission du verre borosilicate MEMPax®

 

Transmission spectrale (250 - 3 150 nm)

Diagramme présentant la transmission spectrale du verre borosilicate MEMPax® (250-3 150 nm)

 

Transmission spectrale (250 - 500 nm)

Diagramme présentant la transmission spectrale du verre borosilicate MEMPax® (250-500 nm)

 

Propriétés électriques 

Diagramme présentant les propriétés électriques du verre borosilicate MEMPax®

 

Propriétés chimiques 

Diagramme présentant les propriétés chimiques du verre borosilicate MEMPax®

 

Produits MEMpax®

SCHOTT MEMpax® est disponible sous forme de :

  • Substrats et wafers non polis
  • FLEXINITY®

Pour en savoir plus, veuillez consulter les produits associés sur la page de présentation.

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