MEMpax®
Caractéristiques de finesse et attrait de la surface
Le MEMpax® de SCHOTT élargit la gamme du verre borosilicate BOROFLOAT®, réputé dans le monde entier, à des épaisseurs extrêmement faibles, allant de 0,07 à 0,55 mm. Il bénéficie également d’une surface parfaite et polie au feu, éliminant ainsi toute nécessité de meulage et de polissage, et peut être utilisé partout où des verres borosilicates extrêmement fins sont nécessaires, comme dans les applications MEMS et biotechnologiques.
Une polyvalence hors pair
MEMpax® voit son potentiel élargi grâce à une combinaison d’épaisseurs uniques et de propriétés exceptionnelles. Son coefficient de dilatation thermique (CTE) correspond à celui d'un wafer de silicium, ce qui le rend idéal pour les applications de wafers dans les procédés de liaison anodiques et autres collages. Une faible auto-fluorescence, une transmission élevée des UV et des propriétés non conductrices accroissent encore son potentiel.
Un portefeuille unique de propriétés
MEMpax® permet de combiner toute une palette de formes et tailles avec des épaisseurs faibles inégalées, tandis qu’une résistance chimique très élevée rend ce verre de grande pureté extrêmement durable pendant le traitement. Son CTE le rend hautement compatible avec le silicium dans les processus de collage, sa transmission (UV) élevée permet un décollement rapide, et il conserve une conductivité non électrique même à des températures importantes.
Nous sommes certifiés
Nous sommes certifiés ISO 9001 et ISO 14001. La production de MEMpax® fait l'objet d'une surveillance permanente à toutes les étapes de fabrication et notre verre est soumis à un contrôle qualité rigoureux avant expédition. Il est également conforme aux normes EU-RoHS et EU-REACH.
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