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Two SCHOTT employees transport a large cylindrical quartz glass component

Consommables pour le traitement en amont

Le quartz de haute pureté est un matériau clé dans la fabrication de semi-conducteurs, particulièrement utilisé dans les consommables pour le traitement frontal. SCHOTT fournit des matériaux de base en quartz, allant de la pureté standard à l’ultra-haute pureté et à la forme quasi nette, personnalisés pour répondre aux exigences des processus avancés.
Quarzglas Rohr

Équipement de gravure au plasma

La technologie de gravure au plasma utilise des ions plasma à haute énergie pour graver les matériaux, ce qui permet d’éliminer et de modeler avec précision les matériaux à couche mince. Des anneaux de quartz isolent, protègent et stabilisent la chambre de gravure pendant le processus de gravure, empêchant la contamination de la chambre et de la plaquette par les gaz de gravure et assurant la stabilité et l’uniformité du processus de gravure. Les matériaux en quartz SCHOTT sont largement utilisés dans les équipements de gravure au plasma, servant de matériaux clés pour les composants de la chambre.

Quartz Glass for Epitaxy

Équipement d’épitaxie

L’épitaxie fait référence à une technologie utilisée dans le processus de fabrication des puces pour faire pousser de nouveaux cristaux sur la plaquette d’origine afin de créer une nouvelle couche semi-conductrice. Le verre de quartz opaque est un choix idéal pour les composants des chambres d’épitaxie. En raison de sa faible transmission thermique et de sa faible conductivité, le verre de quartz opaque de SCHOTT est utilisé dans les principaux équipements d’épitaxie.

Quarzglas Opak

Équipement de diffusion

La diffusion fait référence au processus d’utilisation du principe de diffusion thermique pour introduire des éléments impuretés dans le substrat de silicium en fonction des exigences du processus dans des conditions de température élevée. Il a une distribution de concentration spécifique pour modifier les propriétés électriques du matériau en silicium. Les matériaux en quartz fusionnés électriquement de SCHOTT sont idéaux pour les processus de diffusion en raison de leur très faible teneur en OH et de leur faible teneur en métaux alcalins.

Vous souhaitez être inspiré par la façon dont le quartz à Semicon peut être une solution pour vous ? Parlons-en !

Que vous ayez besoin de plus d’informations, d’échantillons, d’un devis ou de conseils pour un projet, nous serons ravis de nous entretenir avec vous.

Man in glasses in business office on phone while working on laptop_330x190.jpg

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