SCHOTT FLEXINITY^®– Lösungen aus strukturiertem Glas

Designkriterien                                                                                                                                              

Minimaler Strukturradius	100 µm
Minimaler Abstand zwischen den Strukturen	300 µm
Randausschlusszone	≥ 3 mm

Spezifikationen	Wert
Dicke (Abhängig vom Glastyp)	0,1 mm – 3,3 mm
Wafergröße	max. 600 mm im Durchmesser (rund und rechteckig)
Struktureigenschaften
- Minimaler Strukturradius	≥ 100 μm
- Strukturgrößentoleranz	< 20 μm (equiv. ± 10 μm)
Randausschluss	≥ 3 mm
Minimale Distanz zwischen den Strukturen	> 300 µm
Positionstoleranz der Strukturen	< 20 μm (equiv. ± 10 μm)
Layout	Gemäß Kundenspezifikationen

Speziallösungen sind auf Anfrage möglich.