SCHOTT FLEXINITY™– Lösungen aus strukturiertem Glas

SCHOTTs innovatives Strukturierungsportfolio für Wafer und Dünnglas

Produktinformationen

Mit FLEXINITY™ präsentiert SCHOTT ein komplett neues, innovatives Produktportfolio, welches hochpräzise und vielseitig strukturierte Glassubstrate anbietet.

Schauen Sie sich unser Video an - SCHOTT FLEXINITY™

SCHOTT FLEXINITY™ bietet eine breite Auswahl verschiedener Gläser in unterschiedlichen Dicken und Abmessungen.

D 263^® bio Substrate Glass l D 263^® T eco Thin Glass l MEMpax^® l AF 32^® eco l BOROFLOAT^® 33

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Vorteile

Positionstoleranz +/- 25 µm
Strukturgrößentoleranz +/- 25 µm
Strukturradius >150 µm
Bis zu 100 µm dünn

Fähigkeiten

Genauigkeit & Präzision - SCHOTT FLEXINITY TM

Genauigkeit

Geringe Toleranzen zu erreichen ist ausschlaggebend für High-Tech Applikationen und Produkte von höchster Qualität:

Ungenauigkeit führt zu Fehlausrichtungen in Ihrem Prozess.
Bruch und Splitter an Strukturecken führt zu geringeren Erträgen und ineffizienten Prozessen.
Strukturierte Wafer von SCHOTT erreichen enge Spezifikationen.
- +/- 25µm Positionstoleranz
- +/- 25µm Strukturgrößen Toleranz

Kundenspezifische Lösungen mit SCHOTT FLEXINITY TM

SCHOTT bietet kundenspezifische Lösungen mit Durchgangslöcher in Glassubstraten an.

Jedes Design, das die Strukturkriterien erfüllt, ist möglich

Designkriterien

Minimaler Strukturradius	150 µm
Minimaler Abstand zwischen den Strukturen	300 µm
Randausschlusszone	5 mm

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Applikationen

SCHOTT FLEXINITY TM for sensoring applications

Sensoren / MEMS

Einige der Hauptkriterien um einen hoch qualitativen und haltbaren Drucksensor herzustellen sind abhängig von den benutzten Materialien. Eins dieser Kriterien verweist auf die physische Eigenschaft des Glases. Meistens werden Glas und Silizium zusammen genutzt, weil sie durch anodische Verbindung stark miteinander verbunden werden können.

Um durch thermische Unterschiede entstehende Belastungen an der Verbindungsschnittstelle zu reduzieren, ist es notwendig, dass beide Materialien den selben thermischen Ausdehnungskoeffizienten haben. Zusätzlich muss die Rauheit der Oberfläche extrem gering sein, weil die Haftung stark von der Qualität der Oberfläche abhängig ist.

Da (End-)Geräte, Module und Sensoren dazu neigen immer dünner und leichter zu werden, muss das Glas so dünn wie möglich sein, um sich nahtlos den Anforderungen heutiger Sensoren anzupassen.

SCHOTT FLEXINITY TM for microfluidic applications

Mikrofluidik

Chemisch vorspannbar und leicht zu strukturieren, hierdurch kann D 263^{^®} bio in verschiedensten Applikationen mit Anforderungen von hoher optischer und chemischer Qualität, wie Substratglas für optische Diagnostik, mikrofluidische Komponenten oder Anwendungen im Consumer-Bereich und Industrie eingesetzt werden.

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Technische Details

In der Tabelle sehen Sie die Spezifikationen für unser vorläufiges Set-up der Musterlinie. Die Spezifikationen des voll implementierten Prozesses sind noch weiter verbessert.

Spezifikationen	Wert
Dicke (Abhängig vom Glastyp)	0,1 mm – 3,8 mm
Wafergröße	4"-12" (rund und rechteckig)
Struktureigenschaften
- Minimaler Strukturradius	150 µm
- Strukturgrößentoleranz	+/- 25 µm
Randausschluss	≥ 5 mm
Minimale Distanz zwischen den Strukturen	> 300 µm
Positionstoleranz der Strukturen	< +/- 25 µm
Layout	Gemäß Kundenspezifikationen und Strukturkriterien
Absplitterung	< 10 µm Oberflächenschaden um das Loch