SCHOTT FLEXINITY^®– Lösungen aus strukturiertem Glas

Designkriterien                                                                                                                                              

Minimaler Strukturradius	150 µm
Minimaler Abstand zwischen den Strukturen	300 µm
Randausschlusszone	5 mm

Spezifikationen	Wert
Dicke (Abhängig vom Glastyp)	0,1 mm – 3,8 mm
Wafergröße	4"-12" (rund und rechteckig)
Struktureigenschaften
- Minimaler Strukturradius	150 µm
- Strukturgrößentoleranz	+/- 25 µm
Randausschluss	≥ 5 mm
Minimale Distanz zwischen den Strukturen	> 300 µm
Positionstoleranz der Strukturen	< +/- 25 µm
Layout	Gemäß Kundenspezifikationen und Strukturkriterien

Speziallösungen sind auf Anfrage möglich.