Beschichtungstechnologien

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Magnetron-Sputtering-Anlagen zählen zu den leistungsfähigsten Beschichtungsapparaturen, die durch Partikelzerstäubung auf Plasma-Basis insbesondere für die Erstellung hochwertiger Interferenzfilter mit bis zu 200 mm im Durchmesser und 40 mm Dicke angewandt werden. Durch ein sehr stabiles Wachstum der Schichten, eine hochgradige Kontrolle der Schichtendicke, die Möglichkeit viele Schichten aufzubringen, z.B. sehr harte und kratzfeste AR- Beschichtungen auf Saphir-Substraten, sowie eine hohe Gesamtschichtdicke, werden extrem schmalbandige Bandpassfilter, steilkantige Filter oder sogenannte Notchfilter (z.B. Triple-Notch) möglich. Derartige Filter kommen z.B. im Bereich der Fluoressenz-Mikroskope oder der Raman-Spektroskopie zum Einsatz.
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