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FOTURAN™ II

感光性ガラスウエハー

FOTURAN™ II は 実績のある FOTURANTM を改良した感光性ガラスです。 連続溶融で製造されるため均一性に優れています。

FOTURAN™ II はUV露光と熱処理を施すことにより結晶化する感光性ガラスです。 結晶化した部分は高アスペクト比でエッチングすることができ、非常に微細な構造やビアを形成することができます。 二度目の露光と熱処理を施すことにより、更にガラスセラミックにすることもできます。 陽極接合も可能です。

構造化されたFOTURAN™ II は、半導体チップと半導体パッケージングプロセスに適用することができます。 FOTURAN™ II は、フォトレジストを使わずに標準的な半導体製造装置を使って加工することができます。