Technische Daten für MEMpax®
Eine einzigartige Vielzahl von außergewöhnlichen Eigenschaften macht MEMpax® zu einem ausgezeichneten Produkt für eine Vielzahl von Anwendungen. Die Widerstandsfähigkeit in der Verarbeitung, die Eignung für das Hochtemperaturbonden, eine große Auswahl an Größen und die konkurrenzlos große Zahl an geringen Dicken zeichnen MEMpax® aus.
Hohe Beständigkeit bei extrem geringen Dicken
Materialeigenschaften
1. Optische Eigenschaften
| Optische Eigenschaften | Wert |
|---|---|
| Brechungsindex* ng | 1,4803 |
| Brechungsindex* nF' | 1,4768 |
| Brechungsindex* nF | 1,4765 |
| Brechungsindex* ne | 1,4732 |
| Brechungsindex* nd | 1,4715 |
| Brechungsindex* nD | 1,4714 |
| Brechungsindex* nC' | 1,4696 |
| Brechungsindex* nC | 1,4693 |
| Abbesche Zahl νe | 65,4 |
| Spannungsoptische Konstante in (nm/cm)/Mpa | 39,8 |
* Brechungsindex: Vorbehandlung von Proben.
Lieferzustand [„wie gezogen“]
2. Thermische Eigenschaften
| Allgemeine thermische Eigenschaften | Einheit | Wert |
|---|---|---|
| CTE (Wärmeausdehnungskoeffizient) α | 10-6·K-1 (20 °C; 300 °C) | 3,26 |
| Mittlere spezifische Wärmekapazität cp | in J/(g·K)(20 °C; 100 °C) | 0,82 |
| Transformationstemperatur Tg | in °C | 532 |
| Viskosität | Viskosität lg η in dPas | Temperatur in °C |
|---|---|---|
| Untere Kühltemperatur | 14,5 | 528 |
| Obere Kühltemperatur | 13,0 | 570 |
| Erweichungstemperatur | 7,6 | 831 |
3. Mechanische Eigenschaften
| Mechanische Eigenschaften |
Einheit | Wert |
|---|---|---|
| Dichte ρ | in g/cm³ | 2,22 |
| Elastizitätsmodul E | in kN/mm² | 62,7 |
| Poisson Zahl µ | 0,196 | |
| Torsionsmodul G | in kN/mm² | 26,2 |
| Knoop-Härte | HK 0,1/20 | 430 |
| Vickers-Härte | HV 0,2/25 | 510 |
Chemisches Vorspannen (für Dicke = 0,2 mm)
| Einheit |
Wert |
|---|---|
| Temperatur ϑ in °C | 430 |
| Dauer t in h | 4 |
| Druckspannung (CS) in MPa | 120 |
| Schichttiefe (DoL) in µm | 8 |
4. Chemische Eigenschaften
| Hydrolytische Beständigkeit (gemäß DIN ISO 719) | Wert |
|---|---|
| Klasse | HGB 1 |
| Alkali-Äquivalent pro Gramm Glasgrieß in µg/g | < 31 |
| Säurebeständigkeit (gemäß DIN 12116) | Wert |
|---|---|
| Klasse | S 1 |
| Halber Oberflächengewichtsverlust nach 6 Std. in mg/dm² | 0,16 |
| Laugenbeständigkeit (gemäß DIN ISO 695) | Wert |
|---|---|
| Klasse | A 2 |
| Oberflächengewichtsverlust nach 3 Std. in mg/dm² | 132 |
5. Elektrische Eigenschaften
| Dielektrizitätskonstante εr (bei ϑ = 25 °C) | Wert |
|---|---|
| bei 1 MHz | 4,8 |
| bei 1 GHz | 4,4 |
| bei 2 GHz | 4,5 |
| bei 5 GHz | 4,4 |
| bei 24 GHz | 4,4 |
| bei 77 GHz | 4,4 |
| Dielektrischer Verlustfaktor tan δ (bei ϑ = 25 °C) |
Wert |
|---|---|
| bei 1 MHz | 38 · 10-4 |
| bei 1 GHz | 58 · 10-4 |
| bei 2 GHz | 62 · 10-4 |
| bei 5 GHz | 73 · 10-4 |
| bei 24 GHz | 100 · 10-4 |
| bei 77 GHz | 150 · 10-4 |
| Elektrischer Durchgangswiderstand ρD in Ω·cm Gleichstrom (m) |
|---|
| 1,18 ·108 (ϑ = 250 °C) |
| 4,24 ·106 (ϑ = 350° °C) |
6. Transmissionswerte
Spektrale Transmission (250 - 3150 nm)
Spektrale Transmission (250–500 nm)
| Wellenlänge in nm bei einer Dicke 0,2 mm: | τ (λ) in % |
|---|---|
| 254 | 28 |
| 380 | 92,4 |
| 632,8 | 92,8 |
| 1064 | 92,7 |
| Kantenwellenlänge λc (τ = 0,46) bei einer Dicke in mm | Wellenlänge in nm |
|---|---|
| 0,2 | 269 |
| 0,3 | 279 |
| 0,5 | 283 |
| 0,7 | 288 |
| Lichttransmissionsgrad bei einer Dicke in mm | τvD65in % |
|---|---|
| 0,2 | 92,8 |
| 0,5 | 92,8 |
MEMpax® Produkte
SCHOTT MEMpax® ist erhältlich als:
- Unpolierte Substrate und Wafer
- FLEXINITY®
Weitere Informationen finden Sie bei den jeweiligen Produkten auf der Übersichtsseite.
