MEMpax®

Una gama única de propiedades excepcionales convierten a MEMpax® en un producto de referencia para una amplia variedad de aplicaciones. La resistencia que presenta en el procesado, su idoneidad para la unión a altas temperaturas, una gran variedad de tamaños y su amplia e inigualable gama de espesores hacen que MEMpax® realmente destaque.

Gran durabilidad con espesores extraordinariamente reducidos

Excelente resistencia química

Al igual que el innovador BOROFLOAT® de SCHOTT, MEMpax® ofrece una resistencia química máxima, lo que le permite soportar las condiciones más agresivas durante el procesado y la aplicación. Gracias a su composición vítrea, MEMpax® también es un aislante eléctrico de alta calidad.

Construido para ser unido

MEMpax® tiene un coeficiente de dilatación térmica que coincide con el de una oblea de silicio, lo cual hace que el nivel de tensiones en la unión anódica del vidrio con las obleas de silicio sea muy bajo. La rugosidad extraordinariamente baja de su superficie (normalmente Ra ≤ 0,5 nm) facilita aún más este proceso.

Longitudes de onda con las que puede trabajar

Al igual que BOROFLOAT®, MEMpax® presenta una alta transmisión en el rango que desde el visible hasta bien entrado el UV. Esto hace que el material sea idóneo para el debonding ultravioleta en el procesado de semiconductores.

Formas, tamaños y espesores adaptados

SCHOTT se enorgullece de trabajar codo con codo con los clientes para satisfacer sus necesidades de la forma más específica posible, y nuestras obleas de vidrio no son una excepción. Disponibles con formas a medida y en variedades redondas estándar, el abanico de tamaños cubre desde 2 hasta 12", con espesores de 0,07-0,55 mm.

Propiedades del material

 

1. Propiedades ópticas

Propiedades ópticas Valor
Índice de refracción* ng 1.4803
Índice de refracción* nF' 1.4768
Índice de refracción* nF 1.4765
Índice de refracción* ne 1.4732
Índice de refracción* nd 1.4715
Índice de refracción* nD 1.4714
Índice de refracción* nC' 1.4696
Índice de refracción* nC 1.4693
Valor Abbe ve 65.4
Constante fotoelástica en (nm/cm)/Mpa 39.8
 

* Índices de refracción: Tratamiento previo de las muestras.
Estado de suministro ["según el dibujo"] 

 

2. Propiedades térmicas

Propiedades térmicas generales Unidad Valor
CTE (Coeficiente de expansión térmica) α  10-6·K-1 (20°C; 300°C)  3.26 
Capacidad calorífica específica media cp en J/(g·K)(20°C; 100°C) 0.82
Temperatura de transformación Tg en °C 532

 

Viscosidades Viscosidad lg ŋ en dPas Temperatura en °C
Punto de deformación 14.5 528
Punto de recocido 13.0 570
Punto de ablandamiento 7.6 831

 

3. Propiedades mecánicas

Propiedades mecánicas
Unidad Valor
Densidad ρ en g/cm³ 2.22
Módulo E de Young en kN/mm² 62.7
Cociente de Poisson µ 0.196
Módulo de torsión G en kN/mm² 26.2
Dureza Knoop HK 0.1/20 430
Dureza Vickers HV 0.2/25 510

 

Endurecimiento químico (para grosor = 0.2 mm)

Unidad
Valor
Temperatura ϑ en °C 430
Tiempo t en h 4
Tensión de compresión (CS) en MPa 120
Profundidad de capa (DoL) en μm 8

 

4. Propiedades químicas

Resistencia hidrolítica (según DIN ISO 719) Valor
Clase HGB 1
Equivalente de álcali por gramo de grano de vidrio en μg/g < 31

 

Resistencia a ácidos (según DIN 12116) Valor
Clase S 1
Pérdida de peso de media superficie después de 6 horas en mg/dm² 0.16

 

Resistencia alcalina (según DIN ISO 695) Valor
Clase A 2
Pérdida de peso en la superficie después de 3 horas en mg/dm² 132

 

5. Propiedades eléctricas

Constante dieléctrica εr (a ϑ = 25 °C) Valor
a 1 MHz 4.8
a 1 GHz 4.4
a 2 GHz 4.5
a 5 GHz 4.4
a 24 GHz 4.4
a 77 GHz  4.4 

 

Factor de disipación tan δ (at ϑ = 25 °C)
Valor
a 1 MHz 38 · 10-4
a 1 GHz 58 · 10-4
a 2 GHz 62 · 10-4
a 5 GHz 73 · 10-4
a 24 GHz 100 · 10-4
a 77 GHz  150 · 10-4 

 

Resistividad del volumen eléctrico ρD en Ω·cm de corriente continua
1.18 ·108 ( ϑ = 250 °C)
4.24 ·106 (ϑ = 350 °C)

 

6. Valores de transmitancia

Transmitancia espectral (250 - 3150 nm)

Gráfica que representa la transmitancia espectral del vidrio borosilicato MEMPax® (250-3150 nm)

 

Transmitancia espectral (250 - 500 nm)

Gráfica que representa la transmitancia espectral del vidrio borosilicato MEMPax® (250-500 nm)

 

Longitud de onda en nm con un grosor de 0.2 mm: τ (λ) in %
254 28
380 92.4
632.8 92.8
1064 92.7

 

Longitud de onda del borde λc (τ = 0.46) a grosor en mm Longitud de onda en nm
0,2 269 
0.3  279 
0.5  283 
0.7  288 

 

Transmitancia luminosa a grosores en mm τvD65en %
0,2 92.8
0.5  92.8 

 

Productos MEMpax®

SCHOTT MEMpax® está disponible como:

  • Sustratos sin pulir y obleas
  • FLEXINITY®

Para obtener más información, consulte los productos relacionados en la página de resumen.

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