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Microscopic pressure sensor for MEMS package

Sensores

Los sensores desempeñan un papel crucial a la hora de garantizar la seguridad, la fiabilidad y la eficiencia en una amplia gama de aplicaciones, desde sensores de presión hasta sensores de posicionamiento. Estas aplicaciones exigen materiales que puedan ofrecer un rendimiento excepcional en entornos adversos. Con décadas de experiencia en embalajes electrónicos, SCHOTT está perfectamente preparado para satisfacer las rigurosas necesidades de las aplicaciones de sensores.
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

Sensores de presión

Los sensores de presión se utilizan ampliamente en aplicaciones de semiconductores. Supervisan y regulan las presiones en las cámaras de vacío (por ejemplo, durante el grabado o CVD), los sistemas de suministro de gas y las líneas de bombeo para garantizar unas condiciones precisas para el procesamiento de obleas. Además, detectan fugas y mantienen la estabilidad en herramientas como escáneres de litografía y grabadores de plasma.

Productos
Industrial machine actuators

Actuadores

En la fabricación de semiconductores, los actuadores permiten el control preciso del movimiento, el posicionamiento y la automatización en diversos procesos, como la manipulación de obleas, la litografía, el grabado y la inspección. El empaque hermético protege los actuadores piezoeléctricos de los controladores de flujo másico de los gases corrosivos, la humedad y el polvo, lo que garantiza precisión a largo plazo en la fabricación de semiconductores. El sellado hermético de SCHOTT evita daños, reduce la deriva y prolonga la vida útil de los actuadores, lo que permite una producción fiable y de alto rendimiento en entornos ultralimpios.

Productos
Technician repairing engine component

Sensores de gas

Los sensores de gas son importantes para garantizar el rendimiento, la seguridad y el cumplimiento en la fabricación de semiconductores. Por ejemplo, los sensores de gas pueden detectar gases tóxicos e inflamables en el proceso de fabricación y comprobar la calidad del aire en salas blancas. Los sensores de gas con empaques herméticos y pasantes SCHOTT han mejorado su rendimiento y fiabilidad.

Productos
A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

Sensor de temperatura

Para la fabricación de semiconductores, el control y la supervisión precisos de la temperatura son clave para garantizar dispositivos semiconductores fiables y de alta calidad. La detección de temperatura por fibra óptica proporciona lecturas de temperatura remotas de alta precisión en este entorno desafiante. Por ejemplo, la detección de temperatura por fibra óptica puede ser una opción en las máquinas de deposición de capas, donde el control de la temperatura es crucial para garantizar que las capas depositadas cumplan con las especificaciones.

Productos
Silicon Wafer during Photolithography Process.

Sensor de posicionamiento

En fotolitografía, diseñamos soluciones de fibra óptica para sistemas de alineación y superposición que garantizan que varias capas estén alineadas con precisión, lo cual es esencial para la funcionalidad del dispositivo.

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