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Two scientists working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind die winzigen Kraftpakete hinter Innovationen in Bereichen wie Gesundheitswesen, Automobiltechnologie und Unterhaltungselektronik. Ihre empfindlichen mikroskopisch kleinen Komponenten erfordern eine präzise Verpackung und einen dauerhaften Schutz, um in anspruchsvollen Umgebungen zuverlässig zu funktionieren. Bei SCHOTT bieten wir fortschrittliche Lösungen zum Schutz der MEMS-Technologie.
Winziges mikroelektromechanisches System (MEMS)

MEMS-Packaging

Da MEMS-Komponenten immer kleiner und leistungsfähiger werden, wächst auch der Bedarf an entsprechend kleinen Packaging-Lösungen. SCHOTT liefert eine Vielzahl von Glaswerkstoffen und hermetischen Packaging-Komponenten und -Technologien, wie zum Beispiel das besonders präzise TO PLUS® und die Glas-Micro Bonding von SCHOTT Primoceler. Diese zuverlässigen Packaging-Optionen gewährleisten die langfristige Gasdichtheit zum Schutz der MEMS vor Hitzeschäden und mechanischen Einflüssen.

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Scientist holding a circular mirror looking at their reflection

MEMS-Spiegel

Elektromagnetisch gesteuerte Spiegel mit MEMS-Technologie sind in der Kommunikations- und intelligenten Sicherheitsindustrie weit verbreitet. Diese Spiegel sind hochempfindlich und müssen vor Feuchtigkeit und Staubpartikeln geschützt werden, erfordern jedoch eine leistungsstarke optische Schnittstelle. Ultradünne Gläser wie MEMpax®, D263® und BOROFLOAT® eignen sich ideal für Spiegelsubstrate, während unsere hermetischen Glasfensterdeckel und mikroelektronischen Gehäuse eine optimale Leistung von MEMS-Spiegeln in anspruchsvollen Umgebungen ermöglichen.

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Mikroskopisch kleiner Drucksensor für MEMS-Package

Drucksensoren

SCHOTT bietet ein konkurrenzloses Produktsortiment zum Schutz der MEMS-Sensoren vor Umwelteinflüssen sowie eine Reihe funktionaler Komponenten für die Sensoren selbst. MEMpax® und BOROFLOAT® sind flache, sehr homogene Borosilikatgläser und besonders gut geeignet für die anodische Verklebung. SCHOTT FLEXINITY® ist ein Sortiment innovativer strukturierter Wafer- und Glassubstrate, die hochpräzise Ausschnitte ermöglichen.

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